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精密洗浄
メカ、ソフト、制御、ケミカルの技術融合が生み出すものは、 クオリティーの高い製品群だけではありません。自社設計・製作の洗浄装置を使用した 精密洗浄もその高い凡用性とコストパフォーマンスで お客様のご要望にお応えいたします。 半導体・FPD装置などの成膜装置部品に付着する堆積膜を化学・物理処理にて 除去・再生する精密洗浄です。成膜装置部品に付着する堆積膜の除去・再生を 目的にした精密洗浄だけでなく、精密加工品の脱脂洗浄、樹脂系塗材等の剥離洗浄、 排気配管に付着する生成物の除去……さまざまな精密洗浄をご提案します。 Treasure Box!