フォーユーの製品・サービス一覧

当社では、矩形タイプの『IONIX（R） マグネトロンスパッタソース』 を取り扱っております。 内部・外部での取付けが可能。独自の冷却水の経路により、 マグネトロン全体を、常時、一定温度で冷却出来ます。 さらに、KF、ISO、CF接続が可能なほか、独自の磁極配置で、 UMBS配列にも対応します。 【特長】 ■全体を、常時、一定温度で冷却 ■内部・外部での取付け可能 ■KF、ISO、CF接続が可能 ■独自の磁極配置で、UMBS配列にも対応 ■ターゲットに負担を掛けない冷却構造で、ターゲットの変形を防ぐ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 冷却装置

『EMICONシリーズ』は、遷移領域での高速成膜を実現した プラズマエミッションモニターです。 高分解能による測定とコントロールのほか、ノイズを差引いた正確な測定と コントロールが可能。 発光状態を、リアルタイムに、連続してモニターし記録するプラズマ発光の リアルモニターを搭載し、Lineのintegral（積分）測定によるプロセスの PIDコントロール/1000チャンネル以上の納入実績があります。 【特長】 ■遷移領域での高速成膜 ■高分解能による測定とコントロール ■ノイズを差引いた正確な測定とコントロール ■プラズマ発光のリアルモニター ■発光の同定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

『AHA ターボポンプ ステーション・カート』は、スマート＆パワフルな 真空ポンプステーション/カートで、R&Dユーザー用にカスタマイズされた 自動高真空システムです。 標準制御モジュールとしてHMI&PLC、市場で高い高級機能。 1つのコントロールモジュールは、シングルタッチディスプレイで ターボポンプとゲージの4チャンネルを駆動できます。 【特長】 ■新世代のターボ分子ポンプとプライマリポンプ ■AHAコントローラのTMPの回転速度を調整可能 ■AgilentやEdwardsのローカルサポートを受けることが可能 ■AHAのサービスサポートも受けることが可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空ポンプ
• 真空機器

Taiwan ZILLTEK TECHNOLOGY(ZT社)社製 MEMS Microphoneの販売 特徴； ZT社MEMSマイクはMEMS音声センサーと1個のICから出来ています。独自のIC設計により、センサーのバラツキを補正し、ノイズが少ないきれいな音声が出せます。マイクモジュール完成品の実測検査後でも独自の校正方法より、歩留りの良い、よりコンパクトなICを実装しています。そのコンパクトなICにより、他社に比べコストダウン、消費電流を少なくする事を実現致しました。 　ZT社MEMSマイクは、他社との互換性があり、既に1部の携帯電話で使用されています。 　ZT社は、従来のECMマイクに比べ高性能のZTS6011Rのご使用を薦めています スマート携帯、ＰＣ、車搭載システム、ビデオへMEMS Microphoneを搭載をご検討のお客様のサンプルご希望を承ります。 　今年中に、デジタル信号出力のMEMS Microphoneの販売を予定しています。詳細はお問い合わせ下さい。

• 発音部品