【仕様】 ■種別：精密ポーラスチャック ■平面度：0.005mm ■質量：約0.7kg ■主要材料：多孔質セラミックス／グラナイト ■気孔径：2μm、15μm ※本製品は受注生産です。真空ポンプは別途ご用意下さい。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】 ＜精密チャックテーブル＞ ■中央にθ軸を設ける事により、ワークを回転・吸着固定といった工程が、 　高精度に行える ＜精密ポーラスチャック＞ ■部分吸着性能により、テーブルよりも小さいワークも吸着固定できる ■ワークがフィルムや薄膜ガラスであっても反り・撓みが発生しない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他掲載内容】 ■設計システム ■検査定盤・修理＆検定カーリング ■特長・会社概要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。