【装置仕様（抜粋）】 ■使用環境：温度 23±1℃、湿度 RH40～60% ■ステージサイズ：W2200mm×D2400mm×H1844mm ■ステージ重量：約3500kg ■構造：サーフェイス型テーブル移動タイプ 　材質：グラナイト（石材）、CFRP ■真直度（水平）：XY軸 1μm以下 ■真直度（垂直）：XY軸 1μm以下 ※デモ機の準備が御座います。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【装置仕様（抜粋）】 ＜XYステージ＞ ■X軸／Y軸 ・ストローク：400mm ・ガイド：グラナイトエアスライタ ・リニアモータ：推力100N／推力200N ・リニアスケール：ABSシリアル(Endat2.2) 分解能 5nm ・ドライバ：アナログ2相電流制御 ■Z軸 ・ストローク：50mm ・モータ：ステッピングモータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【装置仕様】 ■ストローク：300mm ■最高速度：500mm/sec ■加速度：1mm/sec2 ■分解能：0.1μm ■真直度：0.5μm ■ピッチング：1秒以下 ■ヨーイング：1秒以下 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【装置仕様（抜粋）】 ■使用環境：温度 23±1℃、湿度 RH40～60% ■ステージサイズ：W430mm×D314mm×H120mm ■ステージ重量：15kg ■構造：テーブル移動タイプ、材質 グラナイト及び金属 ■直動システム：XY オリフィス式エアスライドガイド ■モータ温度上昇限界：10℃以下 ■速度ムラ：100mm/secで±1%以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他掲載内容】 ■設計システム ■検査定盤・修理＆検定カーリング ■特長・会社概要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。