産業用機械

株式会社昭和真空

従業員数180名
住所神奈川県相模原市中央区田名3062-10
電話042-764-0370
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粉体スパッタ装置　OCTURE

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真空の基礎

技術資料・事例集

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スパッタリングとは

技術資料・事例集

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真空蒸着装置　Mega-Sapio 1700

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AuSn蒸着装置　SEC-S900C

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耐プラズマ膜用蒸着装置　SEC-S1300i

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【緻密どころじゃない膜に、基板が覆われる】原子層堆積装置　ALD-Series

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【低温成膜可能】ロードロック式 カルーセル型スパッタ装置　SPC-2507型

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生産性向上・省力化 ロードロック式 通過型スパッタ装置 SPH-2410-2

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ホール加速型イオンソース/プラズマブリッジニュートラライザー ISH-030/PBN-80

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インライン式高真空アニール装置　SAF-X1201

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予兆保全用エッジコンピューティングシステム　EPIoT

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ワイヤレス温度モニター

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【安定した膜厚制御なら】水晶式モニター COÅT LEADER

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[樹脂基板に早く自動でスパッタしたいお客様へ]　SPP-SERIES

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【精密加工に貢献】ウエハトリミング装置　SST-M01T型

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【基板表面処理なら】プラズマクリーナー SPE-2136A

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【自動化のマスト設備】 インライン式周波数調整装置 SFE-X2012型

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[樹脂基板に早く自動でスパッタしたいお客様へ]　SPP-SERIES

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【Al膜からDBR膜に移行するなら】Sapio-DBR

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【安定した膜厚と低パーティクル】光学薄膜用蒸着装置 Sapio1300/1550

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【Au/Snで水晶デバイスを大量封止処理】 真空加熱封止装置 SLS-401T型

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原子層堆積装置 「ALD-Series」

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【驚愕の再現性！】光学薄膜用蒸着装置 SGC-S1700シリーズ

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[ホロカソード式イオンプレーティング装置]　SIH-400T

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【両面成膜が可能なロードロック式スパッタ装置】SPH-2500-2

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【省スペースで設置場所に困らない】真空蒸着装置 SEC-06D/08C

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【表面硬化膜の成膜に】アーク放電型イオンプレーティング装置 SIA-400T

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【高出力・広範囲イオンソース】 ISGシリーズ

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【独立稼働処理室で効率よく加熱処理】 高真空アニール装置 SAF-52Ｔ-2

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【垂直入射はお手の物】真空蒸着装置 SEC-22C

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内熱式油拡散真空ポンプユニット 「SFD SERIES」

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【装飾、塗装に最適】 イオンプレーティング装置 SIP-1600

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【昭和真空の最高傑作】 ロードロック式周波数調整装置 SFE-B03-2

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油拡散ポンプ用省電力ユニット 「ECO-22-2/ 26-2」

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