日酸TANAKAの製品・サービス一覧

『S-TORRV02シリーズ』は、本体径φ35、標準面間70.5mmという 非常に小型の圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意しています。 【特長】 ■小型機種 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには 　メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■小型のアウトレットパネルを設計可能 ■装置への組み込みにも適している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『S-TORRV30/30SHシリーズ』は、一次室の流路にフィルターを内蔵し、 内部リーク発生を低減している超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次低圧用の標準機種として低圧配管やアウトレットパネル、充填圧の低い 圧縮ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『S-TORRV50/50SHシリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意。Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施しています。 一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や アウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広くご使用 いただいております。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには 　メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『S-TORRV1300シリーズ』は、一次高圧用の標準機種としてシリンダー キャビネットなどの一次減圧設備に広くご使用いただいている 超高純度ガス用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【特長】 ■一次側高圧用標準機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『S-TORRV2300シリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」が ございます。お問い合わせください。 【特長】 ■一次側高圧用中流量機種 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには 　メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■シリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に広く使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『S-TORRV2300SH/2300AHシリーズ』は、腐食性ガス用の圧力調整器です。 「STV2300SHシリーズ」は、要部部品と呼ばれる腐食性ガスの影響が 特に大きい部品に、「STV2300AHシリーズ」は、調整器本体の接ガス金属部 すべてに耐食性の高いNi-Cr-Mo合金を採用。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現しております。 【特長】 ■腐食性ガス用機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには 　メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『S-TORRVA10シリーズ』は、負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを 負圧供給するシリンダーキャビネットで使用可能な圧力調整器です。 接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減。 タイドダイヤフラム式を採用しております。 腐食性ガス用として接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した 「SHシリーズ」をご用意しています。 【特長】 ■TORR調整器をベースに開発 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『S-TORRVT50シリーズ』は、タイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの 供給に強い構造となっている超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。接ガス部から スプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。 加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても 対応でき、最高使用圧力は2.5MPaとなっています。 【特長】 ■液化ガス用タイドダイヤフラム式機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『S-TORRV1900シリーズ』は、内部リークを抑えるため、デカボランの 生成しづらい好適な中間圧に設計されたジボラン専用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 【特長】 ■ジボラン専用二段減圧式機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■内部リークを抑えるため、デカボランの生成しづらい好適な中間圧に設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-30シリーズ』は、一次低圧用の標準機種としてバルブボックスや 室内への配管の立ち下ろしなど、減圧後の設備に幅広くお使いいただける 高純度ガス用圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。組立は全数0.3μmクラス1000の クリーンルームで行っています。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 【特長】 ■一次側低圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-50／80シリーズ』は、Heリークテストを含め、出荷検査を全数に 実施している高純度ガス用圧力調整器です。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで実施。一次室の流路に フィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 一次低圧用の中流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-150シリーズ』は、接ガス金属部表面粗さがRa0.25μmで、 電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次低圧用の大流量機種として液化ガスの一次減圧や、流量を必要とする 配管で使用する調整器などの用途でお使いいただけます。 【特長】 ■一次側低圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-350シリーズ』は、一次低圧用の大流量機種として液化ガスの 大流量供給設備や大口径配管などでお使いいただける圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一次側低圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ■液化ガスの大流量供給設備や大口径配管などで使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-800シリーズ』は、TORRシリーズで最大級のサイズの圧力調整器です。 通常の圧力調整器と同じ操作感で使用可能な調圧ハンドル式の 「TORR-800Gシリーズ」と、より大きな流量が供給可能なパイロット式の 「TORR-800Mシリーズ」が選択可能。 また、「TORR-800Mシリーズ」よりも更に大流量の供給が可能な 「TORR-800Fシリーズ」もあります。より流量を必要とされる場合は お問い合わせください。 【特長】 ■一次側低圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■TORRシリーズで最大級のサイズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-1300シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に 広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側高圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-2300シリーズ』は、電解研磨仕様品の製作も可能な 高純度ガス用圧力調整器です。 TORRシリーズは長い実績により高い信頼を頂いている"半導体ガス用 圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器で、Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施。 一次高圧用の中流量機種として「TORR-1300」よりも流量の求められる 一次減圧設備や蒸気圧の高い液化ガスの一次減圧設備でお使いいただいて おります。 【特長】 ■一次側高圧用中流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-2500シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている "半導体ガス用圧力調整器の代名詞"とも言える圧力調整器です。 一次高圧用の大流量機種として「TORR-2300」よりも流量の求められる ガス供給設備などで使用可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、フィルターを 内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一次側高圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■「TORR-2300」よりも流量の求められるガス供給設備などで使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-3300シリーズ』は、最大220m3/h（nor）の供給が可能な 一次高圧用の大流量機種です。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 ご希望の仕様に合わせて都度製作しますので、ご用命の際はお気軽に お問い合わせください。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■一次高圧用の大流量機種 ■最大220m3/h（nor）供給可能 ■フィルターを内蔵していない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-2800/2800SHシリーズ』は、腐食性、液化ガスを大流量で 供給するための調整器です。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■腐食性、液化ガスを大流量で供給するための調整器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-Hシリーズ』は、二次側の高圧制御が可能な機種です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 電解研磨仕様品の製作も可能で、Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 【特長】 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ■二次側の高圧制御が可能（最大15MPa） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TORR-Lシリーズ』は、二次側微圧のコントロールが可能な調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施しています。 【特長】 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ■二次側微圧のコントロールが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『圧力計』は、メガビットからギガビット時代に対応できる、 超高純度ガス用周辺機器です。 クリーンな環境で厳重な品質管理のもとで製作。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 この他に、小型・軽量で配管スペースを小さくできる「ラインフィルター」も 取り扱っています。 【特長】 ■メガビットからギガビット時代に対応できる ■クリーンな環境で厳重な品質管理のもとで製作 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能 ■S-TORR、TORR調整器でも使用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TPSシリーズ』は、材質にSUS316L、SUS316を使用している 圧力スイッチです。 軽量・コンパクトで取り扱いが容易。接続部は全部分溶接構造により Heリーク量1.3×10^-10Pa・m3/sec以下を保証します。 この他に、窒素や空気を連続的に供給することにより吸引力を得るための バキュームジェネレーター「TE-140シリーズ」も取り扱っています。 【特長】 ■材質はSUS316L、SUS316を使用 ■Heリーク量1.3×10^-10Pa・m3/sec以下を保証 ■電解研磨仕様品の製作も可能 ■軽量・コンパクトで取り扱いが容易 ■設定圧力を変えることができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社は、半導体材料ガス用圧力調整器S-TORRVシリーズや、 ドイツのOrbitalum社製配管自動溶接機並びに周辺機器を「セミコンジャパン2024」にて展示・実演する予定です。 「Orbitalum社製配管自動溶接機」は、形状の複雑なワークに対して、 自社3Dプリンタにてワークモックアップを作成し、実際に目で見て溶接ヘッドの適用を確認することが可能。 また、「S-TORRVシリーズ」は、接ガス部にネジ構造がない構造とするとともに、 デッドスペースを可能な限り無くしており、効率的なガス供給に貢献します。 【出展品目】 ■ドイツのOrbitalum社製配管自動溶接機並びに周辺機器を展示・実演 ■半導体材料ガス用圧力調整器S-TORRVシリーズ新製品 ・S-TORRV 01iFシリーズ ・S-TORRV 1301シリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社が取り扱う様々な圧力調整器(減圧弁)の情報をまとめた 選定ガイド『圧力調整器選定の手引き』を進呈中です。 ガス溶断・溶接、アーク溶接、分析装置、半導体製造など 用途別の分類により気になる製品の情報をスムーズにご覧いただけます。 複雑化が進む圧力調整器選定の効率化に、ぜひお役立てください。 【お役立ちポイント】 ◎豊富なラインアップから用途に合った圧力調整器を見つけやすい ◎特殊な仕様、構造に関する解説も掲載 ◎資料内のリンクをクリックして、製品の詳細情報をすぐに入手可能 ◎単位換算や用語解説などの基礎知識（Tips）も豊富に掲載 ※本資料は「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。 　お問い合わせもお気軽にどうぞ。