『Real BG300』は、バックグラインド工程後の多機能な厚み計測装置です。 高精度なX軸(左右軸)、Y軸(前後軸)とθ軸(回転軸)を有し、XYθ軸にて 2本の中心ライン測定、切断されるチップ間のスクライブライン測定が可能。 また、透過式変位センサーを使用している為、バックグラインドフレーム付き ウエハ・保護膜付きウエハも測定出来ます。 【特長】 ■シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウェハー厚みを非接触で検出 ■高精度なX軸(左右軸)、Y軸(前後軸)とθ軸(回転軸)を有する ■2本の中心ライン測定、切断されるチップ間のスクライブライン測定が可能 ■Y軸とθ軸にてスパイラル軌道による全面の厚み測定も可能 ■バックグラインドフレーム付きウエハ・保護膜付きウエハも測定できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器

『Torin G8／G10』は、フォトマスク基板にストレスをかけずに垂直に立てて 基板の厚み、平面度を対向する2基の半導体レーザが高精度に計測する フォトマスク基板検査装置です。 測定範囲は最大2100×2000mmまで可能。 主定盤、コラム、スライド部はすべてインド産黒ミカゲ石を使用し、計測に 重要な計測軸にはエアーベアリングが採用されています。 【特長】 ■2基の半導体レーザが高精度に計測 ■計測に重要な計測軸にはエアーベアリングを採用 ■1基の光学プローブは鏡面基板のみに使用され絶対厚みと両平面度を得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他検査機器・装置

『Wafercom 300』は、ベアーウエハー対応の多機能な計測装置です。 シリコン透過式変位センサーを用いてシリコンウエハ厚みを非接触で検出。 測定時の揺れを最小限にする為、Y 軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には インド産黒御影石を使用した高精度なエアーベアリングを採用しており、 ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能です。 また、PCに取り込まれたデータを解析しグローバルフラットネス、 サイトフラットネス、ワープ、ソリ及びエッジロールオフの形状評価ができます。 【特長】 ■ベアーウエハー対応 ■多機能 ■Y軸(前後軸)及びθ軸(回転軸)には高精度なエアーベアリングを採用 ■ウエハの厚みデータを正確に検出する事が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器

『マイクログラナイト製品カタログ』は、ラッピング加工のパイオニアである 土井精密ラップ株式会社の石定盤製品のカタログです。 直角も測れるダイヤルゲージスタンドをはじめ、フラットゲージ、精密測定器 用石テーブルなど、耐摩耗性に優れた石定盤製品を多岐にわたってラインアッ プ。 各種のデジタル・アナログ計測器が取り付けられる豊富なサイズの石定盤と、 色々なスタンドを多数掲載しております。 【掲載内容】 ■ダイヤルゲージスタンド ■スペーサーブロック及びパラレル ■フラットゲージ ■石テーブル ■特殊石定盤 ■大型石定盤の修正 ■セラミック測定スタンド　など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加工受託