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【仕様(一部)】 ■ウエハーサイズ:200/300mm ■検出器:CHR-IT ■分解能:0.2μm ■検出範囲:40~3500μm ■繰り返し精度:0.2μm ■電源:AC110V ■装置の大きさ:450(W)×600(D)×1400(H)mm ■重量:150kg など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
【G8仕様(一部)】 ■最大計測サイズ:Y1400×1600mm ■計測厚み:5~20mm ■装置の大きさ:W2900×D1500×H2500mm ■重量:8ton など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
【仕様(一部)】 ■ウエハーサイズ:300mm ■検出器:CHR-IT(CHR-E) ■表示部:CHR-IT ■分解能:0.2μm ■検出範囲:40~3500μm ■繰り返し精度:0.2μm ■電源:AC110V ■装置の大きさ:600(W)×800(D)×1400(H)mm ■重量:300kg など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
【掲載製品】 ■ダイヤルゲージスタンド ■スペーサーブロック及びパラレル ■フラットゲージ ■精密測定機器用石テーブル T-1500 ■工作機械測定器用殊石定盤 ■大型石定盤の修正 ■セラミック測定スタンド ・E型スタンド ・Fシリーズ ・TC-112 など ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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