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従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。
製造過程において、製品の精度や品質を向上させるために正確な位置決めは重要です。 その中でも、アライメントステージには、標準的な位置決めステージに要求される精度はもちろんのこと、 追従性、位置安定性などが非常に重要な項目となってきます。 そのため、アライメント時に要求される精度、位置決め時間などに応じて好適なステージを選定する必要があります。 神津精機では、用途に合わせた様々なアライメントステージをご用意しております。 高精度、高剛性を両立させたガイド機構を採用した「YRAシリーズ」や 駆動ユニットを均等に配置することにより0.1μmピッチでの高い 追従性を実現する「RSTAシリーズ」を掲載。 【YRAシリーズ】 ■高精度、高剛性を両立させたガイド機構 ■薄型・軽量・小型を実現 ■高精度研削ボールねじを採用 ■制御の容易なステッピングモーターを採用 また、アライメントステージに関するガイドブックをご用意いたしました。 選定にあたって、ぜひご参考にしていただけますと幸いです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からＺステージを特集。 直立型Ｚステージや３タイプの水平面Ｚステージをご紹介。 それぞれにテーブルサイズと型式、他にもＺステージの選定に必要なストローク、全高、耐荷重を記載。また、実力値の例も記載しております。 カスタム事例も掲載しております。 選定の一助になる資料となっております。 Ｚステージの実力値も公開中。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
『RA05A-T01』は薄型化（22mm）により、搭載装置全体の省スペース化に 貢献するタンジェントバー式小型自動回転ステージです。 高精度アライメントに好適な精度と、タンジェントバー方式により高い 分解能を（0.002°）実現。 また、高精度ボールネジを採用しているため、耐久性に優れています。 【特長】 ■薄型化（22mm）により、搭載装置全体の省スペースに貢献 ■高精度ボールネジを採用しているため、耐久性に優れている ■タンジェントバー方式により、高い分解能を（0.002°）実現 ■高精度アライメントに好適な精度を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当資料は、半導体製造工程ごとに使用実績を掲載しています。 インゴットの位置決め用高荷重ゴニオメーター「ワイヤーソー」をはじめ、 完成までの前工程/後工程で使われる位置決めステージをご紹介。 他にも、半導体ウエハのみならず様々な試料の厚さや表面形状等を 測定する装置などにも活用できます。 【掲載製品（一部）】 ■ワイヤーソー ■ウエハボンディング装置 ■プリント基板用露光装置 ■膜厚・組成測定装置 ■レーザーダイシング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当カタログは、神津精機株式会社で取り扱う産業用装置や実験研究用装置の 製品カタログです。 小型6軸マニピュレータ「MPSシリーズ」をはじめ、表面形状測定システム 「Dyvoceシリーズ」や放射光施設用装置など多数掲載。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品】 ■システム製品/産業用 ■システム製品/実験研究ソリューション ■位置決めステージ モンブランシリーズ ■真空対応ステージ ■制御装置 ■アクセサリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『モンブランシリーズ』は、当社の長年にわたるカスタムオーダーメイドの 経験を凝縮して生まれた汎用精密位置決めステージです。 高精度・高剛性・高耐久性を備えております。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■手動XYステージ ■ゴシックアークステージ ■手動Zステージ ■自動Xステージ ■自動スイベルステージ ■手動スイベルステージ ■精密ポジショナー ■自動回転ステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
神津精機の自動X・XYステージ『SXAシリーズ』は先駆的な製造分野で高いコストパフォーマンスを実現いたします。 【こんなことでお困りではありませんか？】 ■生産ラインでたくさん使うので、出来るだけコストを抑えたい ■クライアントの希望納期が流動的だから、出来るだけ短期間で調達したい ■高い剛性と高い精度、ストロークが長い自動Xステージが欲しい ■クリーンルームで使いたい 【特長】 ■部品の共通化×量産により、25%～40%の低価格を実現（当社比） ■98,000円（税別）～の4機種をラインアップ！ ■高剛性ボールネジ＋専用クロスローラーガイド採用 ■高耐荷重・モーメント剛性共に当社従来比2倍以上！ 【高い汎用性とハイパフォーマンスを両立】 【1】高精度＝要求ニーズ＋KOHZU品質 【2】低価格＝部品共通化＋工程管理でコスト抑制 ※改造対応はモーター交換が可能です。 ※自動XYステージ『SYAシリーズ』もご用意しています
『XYステージ』は、分析・検査装置への組込に適した 高精度ロングストロークです。 部品精度、剛性、組立技術の向上により、軌跡の再現性が高いため、 補正や原点復帰が安定し高精度な位置決めが可能。 ケーブルベアキットの取付用タップ穴が本体にありますので、 納入後でもケーブルベアを取り付けていただくことができます。 当社で取り付けての納入も対応しております。 【特長】 ■真直度の高い再現性 ■特殊測定による信頼性向上 ■配線作業の利便性向上 ■柔軟なカスタム対応 ■様々な特殊測定を承っている ・測定器はロータリーエンコーダ、オートコリメータ等、多数取り揃え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社で取り扱う、自動Zステージ『ZA07A-V201』をご紹介いたします。 ボールネジを採用しているので耐久性に優れ、高速移動が可能。 構造がシンプルで、価格を抑えた仕様になっております。 また、テーブルの大きさ口70mmサイズの製品として、高剛性を有する 「ZA07A-V1F01」や低床の「ZA07A-W2C02」などをご用意しています。 【仕様（一部）】 ■テーブルサイズ：70mm ■ステージ高さ：max102.5mm ■案内方式：クロスローラ ■移動範囲：CW 4mm、CCW 10mm ■分解能：0.25μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ボールネジ駆動スイベルステージ』は、より高分解能での制御が 可能な製品です。 重量が2.8Kg→2.0Kgと28%減少し、ボールネジ駆動で耐久性が大幅に向上。 ウェハーのアライメント等に適しており、ワークの上下に自由な 空間が生まれ、設計の自由度が高まります。 【特長】 ■より高分解能での制御が可能 ■重量が28%Down、2.8Kg→2.0Kg ■ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社が取り扱う6軸マニピュレータ『MPS/SMR/USMシリーズ』をご紹介します。 様々なステッピングモーターやサーボモーターを自由に選択可能。 “回転中心下向き”をはじめ、“逆さ使い”“全軸ボールネジ駆動”など 組み合わせが自在です。 位置決め後のワークに対する加圧を前提とした高強度設計となっており、 高分解能タイプやストローク変更など、50パターンの豊富な製作実績もございます。 【特長】 ■手のひらサイズの超小型 ■0.05μmを手動で操作 ■ズレない6軸 ■30kg高荷重もサブミクロンで ■組み合わせ自在 ■モーターを自由に選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『MAX-Gシリーズ』は、大型X線回析計を構成するコンポーネントとして 開発された高荷重ゴニオメータです。 当製品は、水平配置及び垂直配置の両方に対応しているため、 さまざまな装置を容易に構成することが可能。 また、オプションとしてエンコーダを取り付けることや、当社コントローラ 「SCシリーズ」と併用することでフィードバック制御もできます。 【特長】 ■大型X線回析計を構成するコンポーネントとして開発 ■水平配置及び垂直配置の両方に対応 ■さまざまな装置を容易に構成することが可能 ■オプションとしてエンコーダを取り付けることや、 「SCシリーズ」と併用することでフィードバック制御もできる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『USM-R1C-001』は、高精度・高剛性はそのままに、小型軽量化を実現した 超小型6軸マニピュレータです。 全軸ボールネジ駆動により、長寿命。 安定した精度を長期間持続し、再現します。 また、直線方向でサブミクロン、角度で秒単位の追従性を有しており、 高い精度で指令値通りの位置決めを完了します。 【特長】 ■集中コネクタユニット ■面倒な多軸の配線作業が容易 ■小型・軽量 ■高速で稼働する搬送軸への搭載が可能 ■高追従性 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
『MPS-SSSD-B010』は、液晶プロジェクタ、CCDカメラの素子を貼り付ける 際の微細な位置決めに好適な小型6軸マニピュレータです。 従来製品と比較して、小型化、軽量化、高剛性化を同時に実現。高さを50% ダウン、幅を40%ダウン、重量を30%ダウン、剛性を30%アップいたしました。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■小型 ■高精度 ■高剛性化 ■微細な位置決めに適している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社では、小型デバイスの組立に適している『YRA-070』をはじめとする XYθ薄型アライメントステージシリーズを取扱っております。 多様なモータ変更要求に対応している『YRA-071』や、中小型液晶や ウエハの張り合わせに適した『YRA-131』、シリーズ最大の高耐荷重仕様の 『YRA-200』がございます。ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ■YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ■YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ■YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
『RSTアライナー』は、駆動ユニットをバランスの取れた正三角形に 配置した超高精度アライメントステージです。 この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にしました。 制御に必要な計算式は無償提供いたします。 モンブランシリーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、 感度良く追従します。 【特長】 ■バランスの取れた正三角形配置 ■専用設計の駆動ユニット ■大口径透過穴 ■テーブルサイズ自在 ■Z機構の追加可能 ■カスタム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社で取り扱う『ST07A-S1W/YMO7A-SIW』をご紹介いたします。 薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを 実現。従来型よりも高さが46mm（約50％）ダウンし、φ18mmの透過穴で 使用用途が広がります。 テーブル面は70mm×70mm、案内方式は精密クロスローラガイドと なっております。 【ST07A-S1W 仕様（一部）】 ■センター穴：φ18mm（最小有効透過穴径φ13mm） ■ワークディスタンス：70mm ■回転中心変位量：φ0.05mm/±3° ■水平耐荷重：49N（5kgf） ■モーメント荷重：0.71arcsec/N・cm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『FPP03-13』は、高分解能の位置決めを手動で可能にする 精密マイクロメータです。 独自の内部構造により、サブミクロンの位置決めが可能になりました。 最小読取りは0.5μm/1目盛（微動部）、軸方向負荷は最大5Kgf以下 （49N以下）となっております。 【仕様（一部）】 ■構造 ・粗動：送りネジ方式 ・微動：送りネジ＆レバー ■移動量 ・粗動：13mm（0.5mm/1回転） ・微動：0.3mm（25μm/1回転） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当製品は、光ファイバーの調芯専用に開発された6軸ユニットです。 光軸Z軸(フォーカス方向)に対してのXY軸には、サブミクロンの位置決めが 可能な精密ポジショナー「FPP03-13」を採用。 旧モデルと比較して剛性が向上しているため、光ファイバー以外にも 調芯用光学測定器を搭載することが可能で、今までの調芯時間を大幅に 短縮できます。 【特長】 ■光ファイバーの調芯専用に開発された製品 ■回転3軸とZ軸：当社標準マイクロメータを採用 ■精密ポジショナー「FPP03-13」を採用 ■光ファイバー以外にも調芯用光学測定器を搭載することが可能 ■今までの調芯時間を大幅に短縮できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当製品は、同一の回転中心にて試料のアライメントが可能なゴニオメータです。 主な材質にSUSを採用しており、独自の摺り合わせ技術を用いることで、 高い剛性を実現。 動作軸はスイベル(ゴニオ)、θの2軸ですが用途に応じてXY軸を追加する ことも可能ですので、ご要望の際には、お気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■試料のアライメントが可能 ■主な材質にSUS採用 ■高い剛性を有す ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『TSSシリーズ』は、デジタルカメラ・カムコーダやモバイル端末、監視 カメラまで様々な画像機器に搭載されるブレ補正機能の検証を行うもので、 手ぶれなどによる振動の再現ができるシミュレータです。 軸構成がθX,θY、θZの「TSS-1000」と、θX,θZの「TSS-M0210Y」を ラインアップ。 近年、高倍率化・高画素化が進むカメラにはブレ補正が必須となり、 なかでも重要な自由振動波形駆動に対応可能な振動台となっております。 【特長】 ■高性能ピッチ・ヨー・ロール ■タッチパネル採用のコントローラ（TSS-1000のみ） ■簡単・使いやすいソフトウェア ■装置全体を搭載する箱型定盤もご用意（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『Dyvoceシリーズ』は、被測定ワークにあわせたレーザ変位計を用いる 非接触形状測定システムです。 使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備し、 高精度ステージメーカならではの高い信頼性とモーションコントロール技術 により、様々な測定が可能。 ラインアップ以外のステージサイズ（測定領域）に関しては、 ご用途に応じてカスタマイズ対応が可能です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハ・フラットパネルのそり・たわみの評価に好適 ■使い易さを追求した機能、シンプルなユーザインタフェースを装備 ■ワークに合わせた専用ホルダの製作も対応 ■御客様のサンプルをお預かりして、導入前のテスト測定を承っている ■実際に測定を試していただくことも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
科学実験ならびに研究開発において高精度な角度制御が不可欠です。 当社では高精度な角度制御に関するお客様の多様なニーズに応えるべく、 様々な回転ステージをラインアップしております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■高荷重に耐えられる回転ステージ ■回転芯がぶれない回転ステージ ■微小領域での超高精度位置決めに特化した回転ステージ ■2つの回転軸が同軸に配置されたステージ 等々 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
神津精機株式会社で取り扱う製品は、多くのデモ機を用意しております。 購入前に実際に操作をして、想定された用途で使用可能か、 ご確認頂けます。 購入は決めていないが、一度見てみたい、装置に組み込んで評価 してみたい等のご要望がありましたら、お気軽にご相談ください。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
神津精機では、世の中のニーズに応えるために、製品の高精度化を進めてきました。そこで不可欠であったのは「測定技術」の向上です。 当社では、高精度な測定器を各種取り揃え、経験豊かな測定担当者が綿密な精度検査を実施しています。 主な測定器 ・レーザー測長機（分解能1nm）：直線方向の位置決め精度 ・ロータリーエンコーダ（分解能0.00005°）：回転方向の位置決め精度 ・オートコリメータ（分解能0.001秒）：姿勢変化、あおり方向の位置決め精度 ・電気マイクロメータ（分解能0.01μｍ）：走りの真直性 弊社ホームページ（https://www.kohzu.co.jp/technology/actualvalue/）では、過去に行った特殊測定の実績をご紹介しております。ご用途に応じた精度測定も可能ですので、ご相談ください。
【イプロス初主催】AIを活用したリアル展示会！出展社募集中
