筑波精工の製品ラインアップ

『静電チャックサポーター』は、極薄ワークを吸着保持して補強する 静電チャックキャリアです。 接着剤を使用せず、電界制御のみで、薄型ウェハーの補強・固定が可能。 コードレスの為、固定した状態で、さまざまなプロセスへの投入が可能で、 厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入できます。 【特長】 ■極薄ワークを吸着保持して補強 ■薄型ウェハーの補強・固定が可能 ■さまざまなプロセスへの投入ができる ■厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『CP Supporter』は、極薄ワークを吸着保持して補強する 静電チャックキャリアです。 表裏導通が可能なため、電気テストでご利用いただけます。 コードレスの為、固定した状態で、さまざまなプロセスへの 投入が可能。 厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに 挿入できます。 【特長】 ■表裏導通が可能なため電気テストでの利用が可能 ■接着剤を使用せず電界制御のみで薄型ウェハーの補強・固定が可能 ■コードレスの為固定した状態でさまざまなプロセスへの投入が可能 ■厚みが薄くウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社で取り扱っている「静電チャックサポーターシステム」の ラインアップをご紹介いたします。 静電チャックサポーターは、RS標準、CP、Hole、PFAの 4タイプを展開しており、4inch/6inch/8inch/12inchの 各サイズに対応。用途に合わせてお選びいただけます。 給電治具はManual type、Semi-Auto type、Full Auto typeの 3タイプをご用意しております。 【サポーター タイプ別特長】 ■RS標準：表面梨地 ■CP：表裏導通 電気テスト用 ■Hole：凹凸大ウェハ用 ■PFA：耐薬液 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。