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マルチレーザダイシング装置 ICA1205
ICA1205は、マルチビーム構造を採用したマルチレーザーダイシング装置です マルチレーザー構造により、下記を実現 ・より細く切断が可能 ・切断時の温度を抑える ・基盤にかかる衝撃を抑える アプリケーション:RFIC、ディスクリート、Thin Wafer、LED、MEMS、 メモリー、パワーデバイス 〇その他ASM製取扱い装置 ・ALSI:マルチレーザーダイシング装置 ・ASM PT:ワイヤーボンダー装置 ・ASM PT:2次元、3次元パッケージ外観検査装置 ・ASM PT:その他ダイボンダー装置(アライメント精度0.2µm~25µm) 〇ASM装置導入実績(国内、国外トータル): 年間2000台 ダイボンダー、年間4000台ワイヤーボンダー