質量分析装置

アトナープの高感度質量分析装置ASTON（アストン）は、「半導体」「プロセス制御」向けの強力なプロセス分析ソリューションを可能にします。 ★高感度設計により、従来では測定が困難であったプロセスのモニタリングを可能としています。 ★質量分析装置が苦手としている腐食性ガスに対しての影響を最大限軽減させた設計により、耐久性を向上させました。 ★大気圧から高真空までの測定環境に対応した設計と技術サポートにより、幅広いアプリケーションに対応します。 ※詳しくは製品・カタログをご覧ください。