当社の装置は1回の処理で複数枚のウエハに成膜を実施する、バッチタイプの装置です。 膜種　　　　：SiN/SiO2/SiONの成膜が可能です。 　　　　　　　その他TEOS-SiO2等につきましてもご相談ください。 ウエハサイズ：最大８インチ 　　　　　　　８インチ以下のサイズであれば制限はありません。 均一性　　　：±３％以内 　　　　　　　バッチ間再現性を含め、±３％以内となります。

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