化合物や特殊ウエハへの成膜は当社にご相談下さい。

PE-CVD装置に関して、膜質改善や装置のカスタマイズ等、是非お問い合わせ下さい。 化合物半導体やパワーデバイス等の量産対応では、メモリの量産で使用されているPE－CVDでは、膜質やウエハのハンドリングで多くの問題があります。当社では化合物半導体や特殊ウエハ等の量産対応の実績が多数ありますので、お客様がお使いになるベストな仕様で装置をご提案致します。