ボールウェーブの製品・サービス一覧

『Sylph』は、シンプルな制御システムで、初心者でもすぐに使える 超小型ガスクロマトグラフです。 濃縮器を備えた自動サンプリングで、煩雑な前処理が不要。 カラムで分離されたガスはボールSAWセンサによって非破壊で 検出され、排気。 また、操作パネルはシンプルかつ必要十分な機能を持つため 初心者でも簡単に設定できます。 【特長】 ■小型・省電力 ■濃縮器を備えた自動サンプリング ■シンプルな制御システム ■サンプルガスを非破壊で検出 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• ガスクロマトグラフ

『FalconTrace』は、多重周回で長距離を伝搬する弾性表面波の変化を 計測する「ボールSAWセンサ」を搭載した微量水分計です。 「超」微量水分計測を実現した「FT-700WT Mk-II」や、高速応答は そのままに装置組み込みを重視した「FT-450WT」をラインアップ。 また、ミドルレンジでのリアルタイム計測を可能にした 「FT-400WT」もございます。 【特長】 ■各種計測用途に応じて適切な機能を搭載しシリーズ化 　センサ部の小型化も達成しさまざまなアプリケーションに柔軟に対応 ■ppmvまたはppbvオーダーまでの高感度かつ広範囲を検出、微量の水分も見逃さない ■厚さわずか10nmの感応膜により、高速応答を実現 　これまで困難だった水分量のリアルタイム制御系の実現に貢献 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他計測・記録・測定器

低分子シロキサンはシリコーン製品の原料やドライクリーニング用溶媒、 化粧品の添加剤等で広く使用されています。 沸点が高いにもかかわらず揮発性が高い特長を持ち室温においても容易に 気中に拡散し、揮発後の再付着により半導体製造装置のレンズ曇りや 絶縁膜の耐圧低下、接点不良などの悪影響を及ぼすことが知られています。 今回は低分子シロキサンのうち比較的低分子量の環状、鎖状シロキサンを 含む気体を測定し分離、検出が可能か確認しました。詳細は、PDF資料より ご確認いただけます。是非、ご覧ください。 【概要】 ■Sylphによる分析 ・低分子シロキサンのうち環状シロキサン(D3,D4,D5,D6)と鎖状のシロキサン 　(M2,M3,M4,M5)をアセトン溶媒で希釈し、窒素を封入したガスバッグに注入後、 　ガスをSylphに導入し測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他 分析・検査機器

「クリーンルーム大気中のアミン類不純物分析」についてご紹介いたします。 半導体、MEMS素子の製作では、クリーンルーム大気中のガス状不純物が 悪影響を与えていることが問題になっています。 特にアンモニアやアミンといった塩基性不純物は化学増幅型レジストの 形状異常を引き起こすことが知られています。 Sylphによるアミン系物質である2-アミノ-2-メチル-1-プロパノール (イソブタノールアミン)の分析方法について報告します。 詳細は、PDF資料よりご確認いただけます。是非、ご覧ください。 【概要】 ■Sylphによる分析 ・2-アミノ-2-メチル-1-プロパノールを含む加湿剤をガスバッグに 　帰化させWAXカラムを用いて分析を実施 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

• その他 分析・検査機器

『Sylph』は、濃縮器を備えた自動サンプリングシステムを標準搭載した 超小型ガスクロマトグラフです。 動作原理は、まずサンプルガスをポンプで吸引し吸着剤を充填した濃縮器に 通過させ、バルブで流路を切り替え、濃縮器を急速加熱。 すると、サンプルガスが吸着剤から脱離して水素吸蔵合金キャニスターから 供給されるキャリアガスによって、カラムに導入されます。カラムで分離された ガスはボールSAWセンサによって非破壊で検出され、排気されます。 【特長】 ■小型、省電力→現場分析可能 ■濃縮器を備えた自動サンプリング ■シンプルな制御システム ■サンプルガスを非破壊で検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 分析機器・装置

『FalconTrace Platinum』は、露点 -90℃（0.1ppmv）まで 測定可能な微量水分計です。 低露点からの微量水分の上昇を1秒で測定できる高速応答性を有し、 産業ガス中の水分子量が短時間に変化する様子を、インラインで リアルタイムに把握することが可能。 産業ガスなどの化学品、半導体製造、リチウムイオン電池などの 製造プロセスで最終製品の品質安定、歩留まり向上に貢献いたします。 【特長】 ■ミドルレンジモデル ■露点 -90℃（0.1ppmv）まで測定可能 ■低露点からの微量水分の上昇を1秒で測定 ■「ボールSAWセンサ」を用いた微量水分計 ■品質モニタリングツールとして製品開発や製造に役立つ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

ボールウェーブ株式会社は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術 総合開発機構の2020年度「研究開発型スタートアップ支援事業／ Product Commercialization Alliance（PCA）」に係る公募に応募し採択されました。 先端の半導体産業においては、半導体基板表面に形成する配線パターンの 超高精細化、超薄膜化が極限的に進んでいます。 これらの先端半導体プロセスでは、これまでは問題にされなかったような ごく僅かな不純物でも製品欠陥の原因になりうるため、使用される原材料の 不純物を極限まで減らすことが求められています。 本研究では、当社の高速応答が可能で小型高感度なセンサ「ボールSAWセンサ」を 用いた微量水分計 FalconTrace および FalconTrace miniをもとに、 先端半導体プロセスで使用される特殊ガス中の微量水分をインラインで モニターできる装置の製品開発を実施します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

ボールウェーブ株式会社は、宇宙航空研究開発機構の宇宙探査イノベーションハブが 実施する「太陽系フロンティア開拓による人類の生存圏・活動領域拡大に向けた オープンイノベーションハブ」に関する研究提案募集に、課題解決型研究として 採択されました。 本研究では、「多種類の揮発性物質に対する高感度・高精度な可搬型 ガスクロマトグラフの開発」をテーマとして、各種ガスや揮発性有機化合物の 検出に利用可能な可搬型の高感度・高精度揮発性物質センサの実現と、 その社会実装及び宇宙探査における利用を目指す、宇宙航空研究開発機構との 共同研究を実施します。 当社の革新的な高感度センサ「ボールSAWセンサ」と「メタルMEMSカラム」を 活用して、大きさ100×100×100mm、重さ1kg程度を実現可能な可搬型 ガスクロマトグラフの開発を目指します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他

『FalconTrace mini』は、微量水分のリアルタイム計測が可能な 高速応答・ハンディ・微量水分計です。 測定範囲（露点）は、-70～+4℃。 オプションにて-90℃も可能です。 インターフェイスは、USB、イーサネット、WiFiに対応しています。 【仕様（抜粋）】 ■型番：FT-300WT ■測定範囲（露点）：-70～+4℃（オプション -90℃） ■測定範囲（PPM）：0～4000ppmv ■最小検出感度：1ppmv（オプション -0.04ppmv） ■反応速度：1秒以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

『FalconTrace』は、ボールSAWセンサーを用いて、工業用ガスや 天然ガスにごく微量含まれる水分子を定量的に測定する超微量水分計です。 ボールSAWセンサーの表面10nm程度の極薄い膜が水分子を捉えること、 またセンサーセルの空間容積が1ml程度であることから、応答速度が極めて 早く水分量の変化を秒単位でモニターできます。 【特長】 ■応答速度が極めて早く水分量の変化を秒単位でモニターできる ■ボールSAWセンサーの出力を、水分量を示す出力値とバックグラウンドガスの 　平均分子量を示す出力値に分離 ■バックグラウンドガスごとに再校正する必要がない ■天然ガスなどの成分に変動がある場合にそれも同時に検知できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器

ボールSAWが持つ特長などをご紹介します。 長距離伝搬における高感度をはじめ、直径3.3mmで小型であるといった 複数の特長がございます。 【特長】 ■高感度 ■小型 ■高速 ■電極構造の改良→同時2項目計測可 ■単結晶水晶→高耐腐食性 ■国内メンテナンス体制 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• センサ

『ボールSAW水素ガスセンサー』のメカニズムについて解説します。 金属薄膜電極で超音波を発生。その超音波が赤道上を周回し、 感応膜のわずかな変化に反応します。 そして金属薄膜電極が超音波を受信し、わずかな信号変化を 検出することができます。 【特長】 ■超高感度 ■超高速応答 ■いつでもどこでもガス分析が可能 ■水晶球の表面振動が超微量分子を検出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• センサ

『ボールSAWガスセンサー』の基盤技術をご紹介します。 球の表面に、球の直径と波長の幾何平均の幅で表面波を励振すると、 回折現象の起きない自然な平行ビームとして、表面波が多重周回します。 多重周回したSAWは音速の変化や減衰率の変化を周回数と共に拡大させ、 より精密にその変化を測定可能。 この多重周回する伝搬経路上に感応膜を設置することで、 小型、高速、高感度なボールSAWセンサーが得られます。 【特長】 ■高感度 ■高速応答 ■非破壊的 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• センサ

当社が取り扱う、微量水分計『FalconTrace mini（FT-300WT）』 についてご紹介いたします。 空気・不活性ガス・その他（応相談）のガス種に対応。 1秒以内の応答速度を誇ります。 【特長】 ■高速応答 ■ハンディ ■微量水分のリアルタイム計測が可能 ■測定範囲：0～1,000ppmv ■検出感度：1ppmv ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置

『Falcon Trace』は、ボールSAWセンサーを用いて、工業用ガスや 天然ガスにごく微量含まれる水分子を定量的に測定する装置です。 ボールSAWセンサーの表面10nm程度の極薄い膜が水分子を捉えること、 センサーセルの空間容積が1ml程度であることから、応答速度が 極めて早く水分量の変化を秒単位でモニター可能。 また、センサーの出力を水分量を示す出力値とバックグラウンドガスの 平均分子量を示す出力値に分離することができるため、バックグラウンド ガスごとに再校正する必要がなく、また天然ガスなどの成分に変動がある 場合も同時に検知ができます。 【特長】 ■応答速度が極めて早い ■バックグラウンドガスごとに再校正する必要がない ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他検査機器・装置