【その他の仕様】 ■輻射シールド：多段式輻射シールド ■導入端子 ・デバイス計測BNC端子（50Ω）8系統 ・温度センサー導入端子 2系統 ■支持架台：アジャスタ／キャスタ付き支持架台 ■外形寸法：W540×D420×H568m 重量約50kg ■ユーティリティー：所要電力 φ1 AC100V／20A D種アース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（抜粋）】 ■測定温度範囲：300～4.2K ■測定基板形状：□6～10mm ■冷凍能力：室温から4.2Kまで2.5Hr以内（制御性：1K/Min） ■昇温能力：4.2Kから室温まで5Hr以内（制御性：1K/Min） ■起電力配線：冷凍機ステージ内で中継端子による配線（薄膜試料交換が容易） ■試料回転機構：0～90°（ストッパーネジ付） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他特長】 ■タッチパネルコントロールで各種設定やバルブ開閉等容易に制御 ■省スペース、省電力 ■サンプル交換時にモータ制御の昇降機構によりサンプルの交換が容易に可能 ■サンプルるつぼ形状は最大φ50mm以下設置可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（抜粋）】 ＜試料評価室＞ ■真空チャンバ：φ114×h84mm　SUS304／内面#400/外面#400＋電解研磨 ■フランジ：コンフラット規格 ■ベーキング：150℃対応 ＜測定部＞ ■プローブ数：4探針プローブ/タングステン針 ■測定最少電流：1pA以下（常温） ■対向プローブ間距離：417mm ＜加熱機構部＞ ■加熱温度：最大500℃ ■加熱機構制御：DC電源外部制御式PIDコントローラ ■温度センサ：K熱電対 ＜装置本体＞ ■装置架台 　・ゴム足付きベースプレート　310×310×25hmm（ゴム足含む） 　・プローバステージ用フレーム：アルミフレーム構造 ■主排気用バルブ：ICF70手動アングルバルブ＋ICF70/NW25変換ニップル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。