高真空仕様の加熱マイクロプローバ！加熱温度は最大500℃で、10mm形状の サンプル加熱に対応します！
『HMP-100』は、排気系により＜10^-4Paでの使用が可能な高真空仕様の 加熱マイクロプローバです。加熱温度は最大500℃で、10mm形状の サンプル加熱に対応します。TRIAXコネクタを採用することにより 1pA以下の電気測定が可能です。 【特長】 ■高真空仕様 排気系により＜10^-4Paでの使用可能 ■加熱温度 最大500℃対応 10mm形状のサンプル加熱対応 ■低電流測定 TRIAXコネクタを採用することにより1pA以下の電気測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ＜試料評価室＞ ■真空チャンバ：φ114×h84mm SUS304／内面#400/外面#400＋電解研磨 ■フランジ：コンフラット規格 ■ベーキング：150℃対応 ＜測定部＞ ■プローブ数：4探針プローブ/タングステン針 ■測定最少電流：1pA以下（常温） ■対向プローブ間距離：417mm ＜加熱機構部＞ ■加熱温度：最大500℃ ■加熱機構制御：DC電源外部制御式PIDコントローラ ■温度センサ：K熱電対 ＜装置本体＞ ■装置架台 ・ゴム足付きベースプレート 310×310×25hmm（ゴム足含む） ・プローバステージ用フレーム：アルミフレーム構造 ■主排気用バルブ：ICF70手動アングルバルブ＋ICF70/NW25変換ニップル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、真空機器・理化学機器装置の設計・製作・販売及びコーディネイト などを行っております。 真空・理化学研究の前線において長年培って技術力と情報力を活かし、 お客様のサポートをいたします。
