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Squidstat Plus : EIS対応モデル チャンネル数１ 最大電流±１A 最大電圧±10V Squidstat Solo：EIS非対応 チャンネル数１ 最大電流±100mA 最大電流±10V Squidstat Prime：EIS非対応 チャンネル数４ 最大電流±250mA／チャンネル 最大電流±10V
【仕様概要】 [計測使用（1D/2D/3D）] ○測定可能速度範囲：-50～600m/秒 ○再現精度：99.9% ○測定精度：99.7% 以上 [プローブボリューム（1D）] ○測定ボリュームサイズ(x × y × z) →30×60×200μm / 100×200×1200μm / (作動距離による） ○作動距離：35, 50, 100, 150, 240, 400, 500, 700 mm＋ [1Dプローブ仕様（焦点距離：240mm以下の場合）] ○質量：250g ○寸法：直径 32mm / 長さ 165mm [レーザー仕様（1D）] ○レーザー出力：140mW ○波長：658nm ○レーザークラス：IIIb [動作環境] ○使用温度範囲：0～55℃ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【特長】 ○アナログバースト信号、Phase-Basedデジタルバースト信号の 2通りによる検知機能 ○外部からのリモート診断機能可能 ○In-Situサンプルボリューム計測システム ○2次元では2波長を用いて、非接触で粒子径及び U,V成分速度の同時計測可能 ○3次元では3波長を用いて、非接触で粒子径及び U,V,W成分速度の同時計測可能 【性能】 ○測定可能粒子径：0.5～3,000μm（球形粒子） ○粒子径精度：±0.3μm ○測定可能流速：-100～400m/sec ○速度精度：±0.1% ○最大データレート：250,000/sec ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【掲載製品】 ■Koncerto ・PIVシステムソフトウェア ■PIVシステム ・2DPIVシステム ・ステレオ3DPIVシステム ■時系列PIVシステム ■マイクロPIVシステム ■PIVカメラ ・Pixel Fly-PIV ・PCO1600-PIV ・PCO2000-PIV ・PCO4000-PIV ・PhantomV7.1-PIV ・PhantomV9.0-PIV ■タイミングコントローラ TT887 ■PIVダブルパルスレーザー ■光学系 ・レーザーライトシート光学系 BZ-60 ・ライトアームLA-150 ・ぺリスコープライトシートプローブ ■シーディングシステム ・気流用シーディングジェネレータ PivPartシリーズ ・燃焼用シーディングジェネレーター PivSolidシリーズ ・シーディングレイク SR-2315 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【標準的な装置構成】 ■制御・解析ソフトウェア Koncerto 2D ■タイミングコントローラ TT887 ■PIVカメラ PhantomV7.1-PIV ■ダブルパルス ■ライトアーム ■ライトシートプローブ ■制御・解析用PC ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【標準的な装置構成】 ■制御・解析ソフトウェア Koncerto 3D ■タイミングコントローラ TT887 ■PIVカメラ PCO 1600-PIV×2台 ■ステレオPIVアセンブリ ■ダブルパルスYAGレーザー ■ライトアーム ■ライトシートプローブ ■制御・解析用PC ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【標準的な装置構成】 ■制御・解析ソフトウェア Koncerto 2D ■タイミングコントローラ TT887 ■PIVカメラ PCO 1600-PIV ■ダブルパルスYAGレーザー ■ライトアーム ■ライトシートプローブ ■制御・解析用PC ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【システム構成】 ■スタンダードマイクロPIV ■マイクロ時系列PIVシステム ■共焦点スキャニングマイクロ時系列PIVシステム ■高速対物レンズアクチュエータ ■マイクロPIV専用光学系 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■マイクロPIV用 ■スタンダードタイプ30mJ ■スタンダードタイプ50mJ ■スタンダードタイプ120mJ ■スタンダードタイプ200mJ ■ラージスケールPIV用 ■時系列PIV用（～15KHz程度） ■時系列PIV用（～5KHz程度） ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【製品情報】 ○PIVシステムソフトウェア『Koncerto』 →ハイレベルのシステムコントロール性能と高度な解析能力を併せ持った 統合型PIVソフトウェア ○PIVシステム →KoncertoとタイミングコントローラTT887をベースにしたPIVシステム →2DPIVシステム／ステレオ3DPIVシステム ○時系列PIVシステム →従来のPIVでは不可能であった数kHzから数10kHzの高速サンプリングを 可能にした最新鋭のシステム ○マイクロPIVシステム →近年のマイクロTASやラボオンチップと呼ばれるマイクロバイオ・ ケミカルチップ等の微小流動の流速分布解析のためのシステム ○PIVカメラ →フレームストラドリング技術により2枚の画像を数μ秒以下の時間間隔で 取り込む事が可能な高解像度デジタルカメラ ○タイミングコントローラ TT887 →PIVに関する全てのタイミングを一括制御 ○PIVダブルパルスレーザー →2台の独立したレーザービームを同軸上に1本のレーザーとして発振 ○その他 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
2D – LCA 主な仕様 方式 : レーザー式カンチレバー流速計 流速範囲 : 2-100m/s 応答速度 : 150kHzまで 空間分解能 : 100 – 400μm 寸法,重量 : 22cm×φ3cm , 180g レーザー出力 : 5mW 波長 : 670nm レーザークラス : Class IIIb インターフェース : USB
電子顕微鏡(SEM/TEM)内に装着して、マイクロ/ナノサイズの構造の機械的特性（押し込み、圧縮、引張り、曲げ、引っ搔き、振動等）の試験をその場観察 ( in-situ ) 計測できるメカニカルテスターや、ナノインデンターです。ナノインデンテーション法では、測定対象へ加えた荷重と押し込み深さを荷重-変位曲線で表し、さらにそこから得られた情報を計算することで物質の硬度を評価します。また、電気試験や加温試験などにも対応します。光学顕微鏡が付属した単体稼働モデルと、SEMや光学顕微鏡、シンクロトンビームなどに取り付け可能なモデルもご用意いたします。最小荷重単位は1nN ～、最小変位検知は10pm〜となっており、高精度な解析が可能です。シリコン・石英ガラス・Ni合金などの素材のほか、深掘りエッチング(DRIE)、LIGA、レーザー加工などの製造プロセスでも活用可能です。また、得られた画像をもとに歪み・変位の分布を解析する、デジタル画像相関法(DIC)による解析ソリューションもございます。
ラマン測定装置とは、物質に光を照射した際に、物質の散乱光に入射光とは異なる波長の光（ラマン錯乱:RamanScattering）を測定し、その分光情報を基に結晶化の程度や結晶格子の歪み、シリコン基板の応力測定を、顕微サンプル室を標準装備することで高精度な測定を実現しています。高性能顕微サンプル室を装備しており高精度測定を実現。波数分解能、空間分解能、短波長励起ラマン、高波長励起ラマン、低波数ラマン、歪シリコン応力など測定対象に応じた各種モデルをご用意しております。
真空成膜装置とは、半導体の製造工程のうち薄膜成形のプロセスに用いられる装置で、手法によってPVD、CVD、PLD、MBEなど各種の成膜装置が存在しており、真空度の高さが半導体の品質を決める大きな要因となっています。西華デジタルイメージでは、長年薄膜素材の評価装置として定評のあるVINCI社の製品を取り扱ってまいりましたが、同社の真空成膜装置をラインナップに追加しました。VINCI社は高真空装置で定評のあったMECA2000社を傘下に収め、各種成膜装置（PVD、CVD、PLD、MBE）を提供、欧州を中心に多くの納品実績があります。レーザーやLEDの素子に使われる半導体素子を制作する際のプロセスに最適です。
ポロメーターとは、フィルター、セパレーターのフィルタリング性能、捕集率、液体/気体透過性に関わる貫通細孔径分布の測定を行うことが可能な装置です。業界最大手であるPMI社パームポロメーター、リキッドポロメーターの他、西華デジタルイメージ社製であるナノパームポロメーターなど、孔径レンジに応じて各種機種を取り揃えています。孔径レンジとしてはオングストロームからミリメートルまでと、実用上必要とされる孔径は測定可能な装置一式を扱っています。
フォトルミネッセンス法 （Photo Luminescence）とは分光測定法の一種で、検査対象に光やレーザー等を照射したときに、検査対象が光子（Photon）を吸収した後に再発光する現象を観察する手法です。 フォトルミネッセンスイメージング装置は、高い解像度でフォトルミネッセンス画像（PL画像）を取得するだけではなく、分光情報も得られます。そのため半導体ウエハの結晶欠陥の位置を確認することが可能です。装置はエントリーモデルから、ウエハの全面測定やカラーフォトルミネッセンス画像、量産工程用のモデルなど各種モデルをラインナップしております。
パッド単価を低減させるのみならず、着脱時間と立ち上げ時間の短縮も実現。世界初となるCMPパッドの再生を実現した唯一の技術です。廃棄物を削減することで、環境面からも注目を集めております。再生パッドながら高い技術で加工を行うことで新品と差異がないレベルでの研磨を実現しています。
テラヘルツエリプソメーターとは、光と電磁波の強化周波数である1THz,波長300μm前後の帯域で従来赤外線やミリ波と呼ばれ、この波長域の入射による反射楕円偏光の解析で、半導体の様々な電気的特性を算出する装置です。テラヘルツ波は透過性と物質の同定能力を備え、電波より短波長で微小観察に最適です。低エネルギーですので分子間の結合状態の観察にも応用可能です。西華デジタルイメージで取り扱っているテラヘルツ分光装置/テラヘルツエリプソメーターは電場強度と共に位相情報も同時計測が可能。
ニューロイメージングシステムとは、人間の視覚、視神経や網膜機能を構造的に分析し、電子回路に置き換えることで、極めて高い精度で対象物の表面検査を実現することを可能にした技術です。人間の錐体の数は600〜700万個と言われておりますが、それをはるかに上回る毎秒2,000万点で読み取ることで精度と速度の両立を実現しました。視細胞の中でも網膜の機能に着目し、明度の分解能を204,800段階にまで向上させることで、製品の細やかな欠陥を検出する画期的なシステムです。また、従来の目視検査では、人間の視覚は微小構造に着目する(傷検査)と色覚(色検査)がおろそかになり、また逆に色覚に注意を向けると微小構造を見逃します。この問題を、ニューロイメージセンシングはプロセッサを並列処理させることで解決しています。半導体製造時において、深い被写界深度と低コントラスト微小欠陥の可視化が可能な画期的な装置です。
6、8、10インチや超低転移ウエハなど各種ラインナップを取り揃えております。仕様の詳細についてはお問い合わせください。
デジタル画像相関法(DIC)とは、計測対象の表面にスペックルパターンと呼ばれるランダムな模様を塗装などで与え、変形前後の画像を解析演算することで歪み・変位を計測し、ひずみを可視化する手法で、Digital Image Correlationの略をとってDICとも呼ばれます。ひずみゲージとは異なり、画像解析による歪み・変位を解析するので、非接触で面や立体方向の歪みを可視化できます。 西華デジタルイメージでは歪みの解析ソフトウエアであるsDICの開発体制を整えており、お客様のニーズに合わせた形でのシステム提案を得意としております。カメラ1台を用い2次元( xy )解析をする『sDIC 2D』 と、カメラ2台を用い奥行方向を含めた3次元( xyz )解 析をする『sDIC 3D』があります。また、既に画像取込み環境をお持ちの方向けの単体『sDICソフ トウェア』の他、カメラ/レンズ/固定冶具/照明/解析PC 等を含めた『sDICシステム』もご用意しております。
FLD-802 は動的光散乱（DLS）原理に基づく動的光散乱ナノ粒子径分析装置です。ブラウン運動原理に基づき、粒子の大小に依り、運動速度が異なることを計測原理としております。計測機器のコアパーツは、高感度な光電子倍増管と高速デジタル相関器を採用し、ある角度の拡散光変化を検知して拡散係数を得て、ストークス - アインシュタイン方程式に従って、粒子の直径と分布を計算します。 本製品は高速データ解析、高解像比、高い正確性と繰り返し精度を実現し、様々な分野、特に製品の開発研究所や大学で広くご活用頂いております。
FLD-3008シリーズは、マニュアルとフルオートマチックオペレーションを備えたインテリジェント乾式レーザー粒子径分析装置です。ミー散乱を基本原理とし、光を変換するフーリエ変換光路、高安定なHe-Neレーザーと高感度リング状光電子検出器は、繰り返し精度と正確性を約束します。 分散の媒体としてエアーを使用して、試験体を完全に分散させるため、パウダースプレーポンプ（特許出願）とオイルフリー静音エアー源の高精度フィーディング装置により乱流分散を用います。これは、どのようなドライパウダー、特に水と化学反応するパウダーや液体中で形状が変化するパウダーにフィットします。湿式レーザー粒子径分析装置と同等の正確性と繰り返し精度です。
デスクトップタイプのスプレー用レーザー式粒子径分析装置であるFLD-311 は、小型スプレー装置の液滴・粒子径計測に特化した計測装置です。独自技術によるレンズ防汚装置をはじめ、その他最適な計測を実現いたします。本装置は非接触での液滴・粒子径計測が可能なため、医療用アトマイザーをはじめ、霧化薬品、様々なエアロゾル、小型スプレー・噴霧器などの計測装置としてご活用頂けます。本製品は特に、吸入用医薬品（エアゾール）および吸入用噴霧器（ネブライザー）など高い品質検査が要求される計測装置です。
FLD-319シリーズは、主にスプレーから吐出される粒子径計測用に特別に設計・開発されたデスクトップ型スプレーレーザー粒子径分析装置です。本製品はフラウンフォーファー回折原理に基づき、スプレー粒子検査用途に適合する寿命25,000 時間以上のハイパフォーマンスを実現、光源はハイパワーレーザー・平行光路設計を用いています。また、テスト範囲はユーザー任意で自由に可変・調整が可能です。 独占的特許技術 パラレル光学試験技術とスペクトラム増幅技術を用いて、限られたスペースでありながら、広い測定範囲の拡大を実現しました。 また、補助光電子検出器を統合し、テスト範囲全ての角度からの散乱光を効果的にディテクトすることにより、テスト範囲全体の正確性と信頼性を実現致しました。 独自のオプションエアー フロー保護装置 テストにより飛沫がレンズを汚すことを防ぎ、レンズを効果的に保護するエアー フロー保護機能を備えています。（オプション）
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