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【製品詳細】 ■ビーム径：1.6nmΦ以下 ■加速電圧：130kV, 110kV, 90kV ■ステージ：8インチ対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
クレステックは、ポイントビーム型の専用メーカーとして20年以上、国内外に多数のEB描画装置を納入しております。装置の販売のみならず、EB描画の受託加工サービスも行っております。 ビーム径：2nmΦ以下 最小線幅：10nm以下 加速電圧：50kV, 30kV ステージ：4インチ, 6インチ, 8インチ対応 ※仕様詳細についてはお問い合わせいただくかPDFをダウンロードしてご覧ください。
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