フローベルの製品ラインアップ

『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 コンデンサ、抵抗などの電子部品、通信デバイス用樹脂部品、 レンズなどの個片全体を撮影し、表裏両面のキズ検査が可能です。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 　高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度±0.010mm精度で測定可能（※） ※測定精度は、被写体条件、測定条件、対物レンズ倍率、測定環境等により変わります。 サンプルテストにてご確認下さい。 ＼ 詳細は「カタログをダウンロード」よりご確認下さい ／

『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 コンデンサ、抵抗などの電子部品、通信デバイス用樹脂部品、 レンズなどの個片全体を撮影し、表裏両面のキズ検査が可能です。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 　高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度±0.010mm精度で測定可能（※） ※測定精度は、被写体条件、測定条件、対物レンズ倍率、測定環境等により変わります。 サンプルテストにてご確認下さい。 ＼ 詳細は「カタログをダウンロード」よりご確認下さい ／

『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 コンデンサ、抵抗などの電子部品、通信デバイス用樹脂部品、 レンズなどの個片全体を撮影し、表裏両面のキズ検査が可能です。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 　高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度±0.010mm精度で測定可能（※） ※測定精度は、被写体条件、測定条件、対物レンズ倍率、測定環境等により変わります。 サンプルテストにてご確認下さい。 ＼ 詳細は「カタログをダウンロード」よりご確認下さい ／

『TOMOS-50R1』は、撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能な 広視野リング照明付きの両面顕微鏡システムです。 水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴など、電子部品の表裏を 同時に撮影が可能です。 また、表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度 ±0.010mm精度で測定できます。 【特長】 ■顕微鏡表裏の光軸ずれや、レンズ倍率誤差、カメラのθずれを 　高精度に画像処理補正 ■表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TOMOS-60XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 【用途】 ■観察：電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、フィルターなどの表裏同時観察 ■表裏位置ずれ計測：水晶振動子、ＭＥＭＳなどのアライメントマーク、貫通穴の表裏位置ずれ計測 ■表裏寸法計測：水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。

『TOMOS-50/60/80/XY』は、表裏両面を同時撮影、寸法計測、 位置ずれ計測が可能な両面顕微鏡位置ずれ計測システムです。 電動制御及び自動計測となっており、両面露光パターンズレや 半導体ウエハー、4インチ、6インチ、8インチウエハー、MEMS、 水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、観察に利用可能。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正します。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能です。 【特長】 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.3μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定 ■表裏2chオートフォーカスユニット組み合わせ可能(オプション) ■電動XYステージ制御システム開発中 ■装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能 ※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せ下さい。

『FR-400』は、計測機能付ファイリングソフトをセットにした、すぐに 使える簡単オールインワンモデルの顕微鏡用高感度カメラセットです。 感度が高いうえにコストパフォーマンスに優れており、顕微鏡メーカー 問わず後付けが可能。 また、Cマウントへ簡単に装着が可能であり、専用の計測ソフトウェアも 付いてます。 【特長】 ■カラー ■モノクロ ■近赤外 ■蛍光観察 ■顕微鏡メーカー問わず ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TOMOS-80XY』は、あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、 MEMS、半導体ウェハなどの表裏パターンやアライメントマークのずれを 自動測定できる両面顕微鏡システムです。 円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、 中心座標同士のずれを測定。XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定します。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載しており、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【ソフト機能(抜粋)】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θずれ補正 ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ移動制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 　自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 　レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『TOMOS-50』は、水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を 同時に撮影、±0.2μm以下の精度で測定できるコンパクトタイプの 表裏位置ずれ計測システムです。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正可能。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売もしております。 お問い合わせください。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■約300万画素 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定(条件により異なる) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社のTOMOSシリーズ は、電子ペーパー、MEMS、水晶振動子、半導体線幅パターンなどの 精密デバイスを対象に、表裏同時観察・計測を実現する両面顕微鏡システムです。 落射・透過照明対応で粒子・流体・フィルターなど両面同時観察の可能で、 位置ずれ・寸法計測も自動化し高精度・効率化を実現します。 TOMOSシリーズは用途に応じた複数モデルをラインナップしており、観察・計測の目的や対象に最善な選択が可能です。 研究・解析・製造・検査の現場で、高精度・高再現性・効率化を追求する方に好適なソリューションです。 【ダウンロードカタログ内容】 ■コンパクトタイプ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-50 ■6インチステージ 表裏位置ずれ計測システム TOMOS-60 ■リング照明付き低倍率両面顕微鏡システム TOMOS-50R1 ■6インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-60XY ■8インチ電動XYステージ 両面顕微鏡システム TOMOS-80XY ■高速オートフォーカスユニット Mimic II-AF/CL ■高感度近赤外線カメラ FS-1700IRP

半導体業界では、製品の品質を確保するために、製造プロセスにおける異物混入の検出が重要です。異物は、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。両面顕微鏡システム『TOMOS-50』は、半導体部品の表裏を同時に撮影し、±0.2μm以下の精度で異物の検出を可能にします。これにより、製造工程における品質管理を強化し、歩留まりの向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体ウェハの異物検査 ・電子部品の異物検査 ・MEMSデバイスの異物検査 【導入の効果】 ・異物混入による不良品の削減 ・品質管理の効率化 ・製品信頼性の向上

2026年7月29日（水）~31日（金）「イプロスAI 2026夏」に出展する、 検査・製造ラインの自動化・高精度化に貢献する3製品をご紹介します。 【出展製品ラインアップ】 ■両面顕微鏡システム TOMOS-50 半導体部品の表裏を同時に撮影し、±0.2μm以下の精度で異物の検出を可能に ■高感度近赤外線カメラ FS-1700IRP 134万画素InGaAsカメラ。可視から近赤外線まで受光可能、画像鮮明化機能をカメラ本体に内蔵 ■高速オートフォーカスユニット Mimic II-AF/CL 顕微鏡や自動検査装置（FA機器）組み込みに適した画像方式の高速AF 手動検査のバラつきや、見えない微細な欠陥にお悩みではありませんか？ 展示会では、これらの製品の実力や活用事例を詳しくご紹介いたします。 「自社装置への組み込みを相談したい」「まずは資料が見たい」など、 お気軽にお問い合わせ・ブースへお越しください！