当社のハンドラップ技術により、各種ニーズに応じた好適な石製品の 表面粗さに仕上げます。 精度面の表面粗さについて、通常のラップ面仕上げRa0.8に対し、 平面精度を維持したまま面粗し仕上げRa5.0から鏡面仕上げRa0.4まで 幅広く対応いたします。 【採用事例】 ■極粗面仕上　ガラス基盤用吸着テーブル ・表面を粗くしてガラス基盤剥離時の帯電を抑え、ガラスの破損を防止 ・平面精度を維持し、面粗し加工 ・現地追加工にも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 加工受託

当資料は、関ケ原製作所の精密工場設備概要です。 精密工場で導入している機械名やメーカー、型式などをはじめ、 第一工場から第三工場までの恒温恒湿管理エリアの広さから天井クレーン基数、 吊り上げ荷重や室温・湿度などを項目ごとにご紹介。 ぜひ、ご一読ください。 【掲載項目（一部）】 ■機械名 ■メーカー ■型式 ■搭載可能ワークサイズ（mm） ■門幅 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 研削盤
• マシニングセンタ
• 三次元測定器

当社で取り扱う「クリーンルーム対応特殊クレーン」についてご紹介します。 クリーン度Class6（ISO14644-1）相当で、オールステンレス（研磨材） 構造になっており、半導体/ディスプレイ製造装置のメンテナンスに好適。 お客様の用途に合わせた特殊仕様の製作が可能です。 【特長】 ■オールステンレス（研磨材）構造 ■クリーン度Class6（ISO14644-1）相当 ■最大吊荷重　1000kg ■小スペースへの設置（ローヘッドウインチ） ■半導体/ディスプレイ製造装置へのメンテナンスに好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ステンレス
• その他研磨材
• クレーン

当社は、半導体、液晶検査装置及び製造装置に必要とされる 高精度な走行位置決めにも対応できる『石製エアースライダー』を ご提供しております。 豊富なバリエーションにより様々な仕様に対応し、 仕様によっては石材とセラミック材の組み合わせが可能です。 また、当社では5000mmを超える大ストロークのスライダーも 製作可能ですので、ご要望の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ■1μm/1000mmの高い真直性を発揮 ■ニューマチックハンマーを起こしにくい独自の軸受を採用 ■石製なので経年変化がほとんど生じず、恒久的に精度維持を実現 ■1t以上の高負荷容量に対応 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• 半導体検査/試験装置
• その他半導体製造装置

『Handy Angle Tester　HAT-700』は、3次元測定器をお持ちでなくても 高精度な直角度の測定が行える製品です。 セラミック製レールなので錆の心配がなく、注油する必要もありません。 また、3次元測定器に乗せられない大型の製品でも、現場で直接測定が可能です。 【特長】 ■抜群のポータビリティ ■メンテナンスフリー ■測定ごとの面倒な補正は不要 　・反転法による高精度な測定が可能 　・補正用のマスターが不要 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• その他計測・記録・測定器

当社は、薄くて軽いワークを高精度な平面度の面に吸着することで、 ひずみなくワークを固定することでき、精密な塗布プロセス・検査 及び各種加工が行える『石製真空吸着テーブル』をご提供しております。 表面を荒くしてガラス基板剥離時の帯電を抑え、ガラス状に形成している トランジスタなどの静電破壊を防止します。 また当社では、通常のラップ面仕上げRa0.8に対し、平面精度を 維持したまま面粗し、仕上げRa0.5程度まで対応することが可能です。 【特長】 ■天然石のため、経年変化がほとんど生じない ■熱伝導率が小さく温度変化の影響を受けにくく、平面精度が維持される ■傷がついても”かえり”が無いため、平面精度が維持される ■腐食が無く、クリーンでメンテナンスフリー ■ワークがガラス基板の場合、静電気の発生を抑えられる ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

• その他加工機械
• 基板加工機