★ 12インチリング付きウェハ処理が可能！ ★ 表面改質、無機物/有機物汚染除去！ ★ 量産前の評価、研究に最適！ ★ 高速、低価格 ★ 様々なオプション機能 ★ 300mmウェハ、矩形基板への対応可 [ 主要性能] ・到達圧力：6.0Pa以下(ガスバラスト閉時） 　　※最大排気速度500L/min ドライポンプを使用 ・リークレート：1.07 Pa/min以下 　　※ビルドアップ基準値：0.1Pa・L / sec をチャンバー容積に換算※ビル　　　　ドアップ基準値：0.1Pa・L / sec をチャンバー容積に換算 ・RFパワー制御：13.56MHz/100～1,000W ・プロセスガス流量制御：設定値に対して±10%以内 ・エッチング性能 無機物エッチングレート：平均20nm/min以上±20% 有機物エッチングレート：平均500nm/min以上±20% テストチップをφ300電極上5ポイントに配置 ※φ280円周上4点及び中央1点に配置 ※矩形電極［オプション］時は□300コーナー4点及び中央1点に配置 ワイドレンジオートチューニング

• ウエハー
• その他半導体
• その他電子部品

★ 最大25,000UPHの高速移載！ ★ 高精度±0.02mmの収納！ （※保証精度は±0.05mm) ★ ダメージレス収納 ・・・微細部品に優しい吸着・収納 ★ 様々なオプション機能 ★ 多種の外観検査 （２面・６面）に対応 1．１６ノズルヘッドによる高速移載： 最大25,000UPH 移載ヘッドには高速自転・公転する16本のノズルを 備え、1往復のX軸動作で16個の部品を一気に移載 します。特に、移載機BITA-2では、部品姿勢認識に ラインカメラを採用し、吸着部から収納部へ停止する ことなく移動することにより、最高タクト25,000 UPHを 実現しました。 2．微細部品の高密度収納を可能にする高精度： ±0.02mm（実力値※） XY軸の高精度制震制御、高精度部品姿勢認識、自動 キャリブレーションにより、±0.02mm(※)の高精度収納を 実現しました。これにより、高密度（狭ピッチ）収納が可 能になります。（※ 保証値は±0.05mm） ※ユーザーワークにて事前評価及びカスタマイズ可能！

• コンデンサ
• その他電子部品
• ウエハー

★ 真空環境下でのＵＶ照射により硬化処理効率ＵＰ！ ★ 最大８インチまでのウェハリング対応！ ★ 窒素パージ不要でランニングコスト削減！ ★ 工程ウエハ処理に最適！ ・酸素濃度を真空環境にして ＵＶ照射すれば硬化不良を低減 ・デバイス直下のボイドも真空環境により除去 大気圧(10万Pa)での酸素濃度（約20％） 本機真空チャンバー圧(5Pa)での 酸素濃度⇒ ０．００１％◇ 主要性能 ・到達圧力： 6.0Pa 以下 ガスバラスト閉時） ・リークレート： 10.0 Pa/min 以下 最大排気速度 500L/min ドライポンプを使用 ビルドアップ基準値： 1.0Pa ・ L / sec をチャンバー容積に換算 ・ UV 照射性能 高圧水銀ランプ採用により、短時間高出力 UV 照射を実現 例） 積算光量： 27.5sec 照射で 550mJ/cm2 ・プロセス時間 1 プロセス 60 s 以下 排気スタートから UV 照射完了まで ※ユーザーワークにて事前評価可能！ ※ユーザー毎のカスタマイズ可能！

• ウエハー

『BITA-2KWD』は、ウエハリング供給の部品をダメージレスで吸着・移載する 高速のハンドラー装置です。 UV硬化と加温によりシート粘着力を低下させたうえで剣山形状の針の先端で 部品を支持しながらシートをエクスパンド、さらに下方へ真空吸引することで シート粘着力を極小化。 シリコンチップなど、ダイシングシート貼付状態で供給される部品を KNE製ロータリーヘッドによる高速ピックアップを可能にするシステムと なっております。 ※ユーザー部品にて事前評価可能！ ※トレイ/フィーダー/バラ/ローダー供給やアンローダーなど 　ユーザー毎のカスタマイズ可能！ 【特長】 ■最大25,000UPHの高速移載 ■高精度±0.02mmの収納 ■ソフトハンドリングダメージレス収納 ■剣山ユニットによるウエハチップの高速移載 ■部品ダメージレス 　（単純なシート剥離の為、部品にダメージを与えない） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他搬送機械
• 搬送・ハンドリングロボット

『BITA-3』は、多品種小ロット生産に対応できる高速高精度全面塗布装置です。 多層基板やフレキシブル基板の製造工程、電子部品の製造工程で必要となる、 段差印刷や複数厚さ印刷にも、データを設定するだけの簡単操作で対応。 また、厚膜印刷（実績例：～35μm）も、同様に対応可能です。 直感的で操作しやすいデータ作成ツールや、機種切り替えに便利な 複数データ組合わせ機能など、生産をサポートする様々な機能を搭載しています。 ※ユーザー塗布材にて事前評価可能！ ※供給などのユーザー毎のカスタマイズ可能！ 【特長】 ■マスクレス面塗布を実現 ■多品種小ロット生産への対応 ■オンデマンド塗布（高精度：狙ったところに自在高速塗布） ■均一塗布厚（高品質：厚み制御/凹凸面塗布） ■40ノズル独立制御（ドット品質：高さ・速度の組合せで最適化） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 塗装機械
• その他塗装機械