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『HTDS-002』は、ボルト等の鋼材試料中水素量を高感度で分析できる 鋼材中水素量分析装置です。 Φ20mm×50mm以内の試料であれば、形状を選ばない装置設計を実現。 水素脆化で問題となる微量水素の定量分析に対応しています。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■分析計：高精度四重極質量分析計 ■水素検出限界：重量0.01ppm=5g試料 ■測定可能試料サイズ：φ20×50mm以内 ■加熱ヒーター：高性能電気炉 ■昇温速度：50℃/hr～600℃/hr（PC プログラム式）　など ※詳細はお問い合わせください。

• 分析機器・装置

『超高真空表面構造分析装置』は、半導体やモデル触媒等における LEED回折像、オージェ分析、昇温脱離分析が行える表面分析装置です。 分析計にはLEED/AES質量分析計を搭載しており、金属薄膜作製に適した EBエバポレーターなどを装備しています。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■表面分析系：LEED/AES ■蒸発源：超高真空エバポレーター「AEVシリーズ」 ■ガスソース：水素クラッキング銃「AEVシリーズ」 ■試料加熱：直接通電加熱式（TC コンタクト式サンプルホルダー） ■試料マニピュレーター：X,Y,Z,θ,面内回転軸の5軸操作　など ※詳細はお問い合わせください。

• 分析機器・装置

『ガス採取装置』は、ガス分析を目的として、希少サンプルを 超高真空とPLCソフトの技術でバルブ制御し、不純物の無い超高真空容器に 5系統以上に分配できる真空装置です。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【仕様】 ■ガス分析系：高精度四重極質量分析計　2台搭載 ■サンプルガス分配：5系統（容積確度±5％） ■バルブ開閉：モーター駆動／PLC制御（モータートルク、開閉速度、開閉順番） ■配管真空度：ターボポンプ直上10^(9)Pa台 ■ベーキング温度：配管、バルブ類250℃ ※詳細はお問い合わせください。

• ガス回収/処理装置
• 分析機器・装置
• 真空機器