セトラ社のＡＳＭシリーズは、６３０ステンレス鋼の圧力ポートに適するガスや液体のゲージ圧、絶対圧、負圧を±０．０５％ＦＳ精度の正確な測定を可能にします。 特許構造のセンサ部はレゾナント可変静電容量方式を採用し優れた直線性と長期安定性を実現しています。温度使用範囲も広く温度影響による誤差は入念に補償され小さく作られています。ダイヤフラムには、過圧ストップの保護機構があり意図しない急激な圧力上昇に対して保護する安全な設計になっています。 独自の高レベルのセンサ出力信号は優れた安定性、精度、低い出力ノイズ、早い動的応答性を特徴としているので多くの工業用途、研究所での計測、制御用に適しています。 このモデルはセトラ独自の電子回路が丈夫な一体型のシリコンレゾナント静電容量センサと組み合わされて製作されています。 圧力ポートの中央部がダイヤフラム構造になっておりダイヤフラムの中心に絶縁電極板が固定され可変キャパシタンスを作ります。 圧力変化で絶縁電極とダイヤフラムの微小な隙間が変化し静電容量が変わり、この変化量を検出して電子回路でリニアな直流信号に変換します。

セトラ社のモデル５４６／５４７圧力センサは、高圧の過負荷アプリケーションに理想的な、５：１の圧力レンジ変更機能で、圧力レンジの２５％からフルレンジの１２５％フルスケール出力の調整ができる頑丈なハウジングで製作された圧力センサです。 圧力モードはゲージ圧、シールドゲージ圧、絶対圧から選択でき、圧力計測範囲は０～６８ｋＰａから６８ＭＰａまで１５種類の圧力レンジでカバーしています。 選択された電気的接続に応じて、ＳＵＳ３２１、１７－４ＰＨステンレス鋼で製作され、選択された電気接続に結合すると、ＩＰ４０、ＩＰ６５またはＩＰ６８（水位計）の環境保護動作が保障されます。 実績のあるホイートストンブリッジの原理を用いた薄膜ひずみゲージ圧力センサは、 17-4 PHステンレス鋼のダイヤフラム上に優れた抵抗の均一性でスパッタリングされ、製作されています。スパッタ薄膜技術は、単純な構造のセンサ設計を可能にし、高精度でドリフトを排除し高感度でコンパクトなひずみゲージを実現しています。

実績のあるホイートストンブリッジの原理を用いた薄膜ひずみゲージ圧力センサは、 17-4 PHステンレス鋼のダイヤフラム上に優れた抵抗の均一性でスパッタリングされ、製作されています。スパッタ薄膜技術は、単純な構造のセンサ設計を可能にし、高精度でドリフトを排除し高感度でコンパクトなひずみゲージを実現しています。 圧力レンジの、０～１００ｋＰａから４０ＭＰａまでは１７－４ＰＨステンレス又はインコネルで接液部は構成されます。圧力レンジの、６０、６９ＭＰａと１００００ｐｓｉレンジはインコネル材質だけで構成されます。ステンレス鋼の接液部を注文する時は、モデル５４０を指定しインコネルの接液部を注文する時は、５４２を指定します。モデル５４０／５４２は電気接続に１０-６バイヨネットコネクタ、耐候性ケーブル、モールド水中ケーブル（２００ｍまで）から選択可能です。

セトラのモデル５６７高性能圧力センサは、高圧アプリケーション用に開発され、顧客での圧力レンジの変更が出来、理想的な幅広い機能を提供します。圧力変更機能は５：１までの可能で、スイッチとポテンショメータで行えます。 このモデル５６７は、使用者のＯＥＭアプリケーション用にカスタム設定する事が出来るようになります。 モデル５６７筐体と選択された電気接続の結合により、このユニットは、ＩＰ４０、ＩＰ６５またはＩＰ６７の環境保護等級での動作が可能となります。 動作原理 実績のあるホイートストンブリッジの原理を用いて設計され、化学的にシリコン薄膜ひずみゲージをステンレス製のダイヤフラムに敏感に正確に蒸着させ形成します。５６７のひずみゲージの要素は、一般的なひずみゲージ圧センサ結合に使用される接着剤を超えた完全性な結合を保証し、原子レベルで融合されています。 カスタム設計されたＡＳＩＣは温度補正を行いセンサ信号の増幅を実行します。 この技術は、ユーザが設定可能な出力、圧力範囲のオプションを提供しています。ゼロ、スパンの許容範囲を設定し、ユニットからユニットへの互換性を保証します。

モデル５２２は精度０．２５％ＦＳ（オプション0.15％FS）、温度補償範囲は－２０℃〜８０℃と広く作られています。ゲージ圧、絶対圧、連成圧の３つの圧力モードから選択出来ます。圧力レンジは－１００ｋＰａ～６０ＭＰａまでの間に豊富な圧力レンジを用意しています。モデル５２２のモジュール設計は、ほぼ全ての圧力レンジで、幅広い種類の電圧出力信号と電流出力信号を用意しており、電気接続も用途に応じ選択出来ます。このモデル５２２は、使用者のＯＥＭアプリケーション用にカスタム設定する事が出来るようになります。モデル５２２筐体と選択された電気接続との結合により、このユニットは、IP65またはIP67の環境保護等級での動作が可能となります。実績のあるホイートストンブリッジの原理を用いて設計され、化学的にシリコン薄膜ひずみゲージをステンレス製のダイヤフラムに高感度で正確に蒸着させ形成します。カスタム設計されたＡＳＩＣは温度補正を行いセンサ信号の増幅を実行します。この技術は、ユーザが設定可能な出力、圧力範囲のオプションを提供しています。ゼロ、スパンの許容範囲を設定し、ユニットからユニットへの互換性を保証します。

セトラ社、モデル２０６／２０７シリーズ産業用圧力センサは、現在入手可能な最も堅牢で信頼線の高いセンサのひとつです。数多くのフィールドでの使用、厳しいアプリケーションテストでの実績で信頼性、技術力に優れている事が証明されています。セトラ社の堅牢な静電容量センサ設計は、衝撃、振動、温度、ＥＭＩ／ＲＦＩ、このような環境影響に耐性があります。さらにＮＥＭＡ－４及びＩＰ６５の環境保護規格を満たしています。長期安定性は０．５％ＦＳ／１年と信頼性に優れ丈夫に作られています。圧力計測レンジは０～１６０ｋＰａから７０ＭＰａの１３種類の圧力レンジから選択できます。この性能を達成する為に、セトラ社のエンジニアはシンプルで非常に正確で再現性のあるステンレス製の静電容量センサとカスタムＡＳＩＣベースの回路を組み合わせました。この高レベルのセンサ出力システムは、圧力継手、電気コネクタなど様々なオプションに対応する為、汎用性を備えた溶接ステンレス製のハウジング内にパッケージ化されています。　 全ての２０６／２０７は製品固有のワークセルで校正され高い品質基準で出荷されます。出力信号、電気接続、圧力接続は様々なオプションに対応しています。

２７０の安定した高い性能は厳しい精度と高い信頼性を要する半導体露光装置を始め、多くの環境計測、工業用途、研究所、航空宇宙、自動車産業で豊富な実績を重ねています。気圧レンジは気象庁形式認定品です。セトラ社独特の高度なチャージバランス回路とシンプルで丈夫なセトラセラムセンサとの組み合わせにより厳しい使用環境での長期に渡る安定性と信頼性を実現します。

デジタル回路とファームウェアは生データをリニアライズと温度補償した出力に処理し０．０２％ＦＳの精度で各エンジニア単位で直接リポートします。 出力は双方向のＥＩＡ−２３２デジタル通信Ｉ／Ｏポートです。３７０については圧力、高度のデータを６桁のＬＣＤで表示します。 気圧レンジは気象庁型式認定を所得しています。

セトラ社の可変静電容量型センサ（特許）は、シンプルなデザインになっています。一体型ステンレス鋼の圧力ポートの中央部がダイアフラム構 造になっており、このダイアフラムの中心に、絶縁電極板が固定されて、可変キャパシタンスをつくります。圧力が増えると、キャパシタンスが小 さくなります。このキャパシタンスを検出して、セトラ社独特の電子回路でリニアな直流電圧信号に変換します。絶対圧タイプでは、ダイアフラ ムのレファレンス側は、高真空で電子ビーム溶接シールされています。

＜特徴＞ ■精度±０.１１%ＦＳの高精度 ■出力は０.０８～５.０８ＶＤＣまたは４～２０ｍＡを選択　　　　　　　 ■ゼロ/スパン調整が可能 ■ステンレス溶接センサ ■ＣＥとＲｏＨＳに対応 ＜用途＞ ●４０ＭＰａＦＳの高圧レンジ対応 （ゲージ圧） ●汎用用途に使用できる ●テストスタンドの高精度圧力測定 ●油圧および空気圧の測定

【仕様】 ◎圧力範囲：0～1kPaから0～100kPa ◎精度：±0.5%読み値(±0.25%オプション) ◎補償温度：0～50℃ ◎使用電源：DC12～30V ◎長期安定性：±0.5％FS／年 ◎応答性：20msec ◎過負荷耐圧：300kPa ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

ＤＭＰ３３１Ｐは媒体温度１５０℃又は３００℃まで使用可能です。圧力はフラッシュダイヤフラムに加わりオイルを媒体としてシリコンセルに伝達されます。高温型は途中に放熱フィンが設けられシリコンセルに伝わる温度は冷却されます。媒体温度１５０℃はフィンが２枚、３００℃はフィンが３枚で構成されます。圧力レンジは０〜−１００ｋＰａの負圧からあります。 正圧側は０〜１０ｋＰａの低レンジから４ＭＰａまでの間１０レンジでカバーされます。出力信号は０〜１０ＶＤＣ又は４〜２０ｍＡＤＣから選択できます。封入オイルも用途により選ぶ事も可能です。圧力接続はＳＵＳ３１６Ｌでほとんどの媒体に対応可能です。オプションで本質安全防爆タイプも可能です。

DMK331Pシリーズは、媒体温度 ー４０℃～１５０℃（絶対圧）又はー４０℃～３００℃（ゲージ圧）まで使用可能です。6MPa、10MPa、16MPa の３つの圧力レンジから選択できます。精度は、±0.5％FSが標準です。出力信号は０〜１０ＶＤＣ又は４〜２０ｍＡＤＣから選択できます。圧力接続はＳＵＳ３１６Ｌでほとんどの媒体に対応可能です。オプションで本質安全防爆タイプも可能です。

DMP331Piシリーズは、媒体温度 ー４０℃～１５０℃（絶対圧/負圧）又はー４０℃～３００℃（ゲージ圧）まで使用可能です。ゲージ圧、絶対圧、連成圧の３モードあり、640kPa~４MPa FS まで豊富な圧力レンジが用意されています。±0.1％FSの高精度です。出力信号は０〜１０ＶＤＣ又は４〜２０ｍＡＤＣから選択できます。圧力接続はＳＵＳ３１６Ｌが標準で、ほとんどの媒体に対応可能です。オプションで本質安全防爆タイプ、RS232 出力も可能です。