【振動子製作例】 ■お客様製品組込用 ■棒状振動子 ■マイクロプレート用 ■スティック型振動子 ■密着型振動子 ■ペンダント型振動子 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 超音波洗浄機
• その他半導体
• その他受託サービス

●詳しくはカタログダウンロードしてご覧下さい。

• 超音波発振器

強力な26ｋHzと静粛な38ｋHｚ、600Wと1200Wをラインナップ。　

• 超音波洗浄機

■特徴 ●パネルタッチで３８ｋＨｚ／１００ｋＨｚ／１６０ｋＨｚの３周波を切替 ●１台の振動子で３周波を発生 ●各周波数とも最大出力６００Ｗのハイパワー ●PLL周波数自動追尾／定出力回路を搭載 ●４種類の発振モードを継承し、高精度の精密洗浄が可能 ●最新の管理機能を搭載 ■詳細は、資料請求またはカタログをご覧下さい■

• 超音波洗浄機

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• 超音波洗浄機

【洗浄効果】パーテクルを99％以上除去可能（社内値）

• 超音波洗浄機

【特徴】 ○2周波超音波振動子の搭載 ○新電気トーチシステムの採用 ○新超音波システムの採用 ○マウスを中心とした新操作体系 ○複雑な品種に対応したサポート機能 ○HSMS標準搭載 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• その他半導体製造装置

●ホストコンピューターで出力変更可能。 ●出力調整は０．１Ｗ刻みの微調整が可能。 ●出力は４桁のデジタル表示。 ●ソフトスタート機能を搭載。 ●振動子交換時の発振器調整が不要。 ●AC100～240Ｖのフリー電源。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○0.1Wパワー設定可能。高電力安定性実現 　ダメージレス洗浄のコントロールが容易に ○ミックス＆マッチ機能で組み合わせ調整不要 ○振動子を交換するだけで、違う周波数で作動できる ○用力はフリー電源方式方式のため工場の電源電圧に左右されない ○サイズは19インチラックに収納できる　規格化されたサイズ ○旧ハイメガ78101型に比べ81％に小型化 ○900Wから1200Wにパワーアップ！さらに大面積を洗浄できる ○重さも17ｋｇと軽量化を実現 ○ハイメガとの互換性もあるため 　発振器を入替ての洗浄性能UPが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○超高速ボンディング：58ミリ秒/ワイヤ ○ファインピッチ対応：35μm ○多彩なループモード搭載 ○高い品種対応性 　金線径15〜75μmにおいて部品交換なしで可動 ○新グラフィックユーザインターフェース ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○マイコン制御 　ヒーターをマイコン制御することにより 　加温、温調などの温度管理が可能 ○見やすいデジタルタイマー 　最大99分、１分毎に設定できるデジタルタイマーを採用 　50Dは簡便なダイヤル式タイマーを採用 ○高性能で長寿命 　エレトロニクス技術を集約し、信頼性の高い設計と 　カイジョー独自の高耐久性BL振動子を採用、連続動作にも対応 　周波数自動追尾回路を搭載し常に最適周波数で作動、強力洗浄可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○低振動を実現した制振制御XYステージ ○超小型無反動カットクランプ ○低イナーシャを実現した高速ボンディングヘッド ○2周波超音波振動子の搭載 ○ワイドエリアに対応 ○2色LED照明 ○複雑な品種に対応したサポート機能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○従来のUSシャワーに比べ 　約5倍の超音波強度（当社比）が得られ、洗浄効果が大幅にアップ ○枚葉式LCD洗浄装置に組込み、裏面洗浄が可能 ○0.2μｍ以下のパーティクルを 　ハイ・メガが除去し、超精密洗浄が可能 ○高周波（950kHz）で被洗浄物へのダメージが極めて少ない ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○ハイメガソニック超音波を特殊反射方式により集中させ洗浄液に伝搬 　先端の穴から噴射し、半導体ウェーハやLCDを効率よく洗浄 ○作動周波数 　430kHz/950kHz

• その他半導体製造装置

【特徴】 ○3桁のデジタル表示により 　常時作動状況の管理が可能で高精度な管理が可能 ○発振状態表示は、上下限異常表示が行え、その接点出力も可能 ○独自のPLL方式により液の種類、液深 　液温（最高70度）等が変わっても自動で最適な周波数を発振 ○高効率発振が可能 ○65nm以下の微細パターンに対し、ダメージの少ない2MHzを採用し 　200mmウェーハ、300mmウェーハに対応 ○洗浄ムラない ○パワー密度が非常に高く、洗浄能力が優れる ○板厚が厚く、機械的強度に優れて長寿命。洗浄槽への組込みも安心 ○石英槽に直接振動子を接着した石英超音波槽を商品化 　従来の二重槽式に比べ強力な超音波を照射 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

• 超音波発振器

◆◇◆ 特徴◆◇◆ ◆高速ボンディング：54ミリ秒/ワイヤ ループコントロールあり・ワイヤ長0.5mm ◆パッド開口部対応：35μm ◆多彩なループモード搭載 ◆高い品種対応性：金線径15〜75μmにおいて部品交換なしで稼動 ◆新グラフィックユーザインターフェース ◆その他機能や詳細については、カタログダウンロード　 もしくはお問い合わせ下さい。

• その他加工機械

【特徴】 ●超見やすいデジタル表示 ●持ちやすいハンディータイプ ●測定データをパソコンに通信可能 ●バッテリー駆動も可能

• その他計測・記録・測定器