【商品概要】 商品名 PeriZac 材質 アルミナ サイズ (mm) 330ｘ226ｘ2.3 対応ウエハサイズ 12 インチ 発売⽇ 2020 年 8 ⽉ 【製品特徴】 ・ウエハ裏⾯を外周 3mm で吸着することで、接触によるパーティクル発生を抑制 ・ウエハにダメージを与え難い材質をガイドに採⽤ ・アスザック独自の接着剤を使⽤しない空洞⼀体技術で薄型化が可能 ・センサー取り付けなどのオプションに対応 ウエハ外周吸着セラミックスハンド 【製品仕様】 大気仕様のハンドです。ウエハの外周を 4 箇所で吸着し、搬送します。 取り付け⽳の加工、根本の⻑さ、幅の変更に対応可能。 【本件に関するお問い合わせ先】 アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部 技術営業 ⼩林 TEL：026-248-1626、FAX：026-251-2160 【商品購入などお問い合わせ先】 アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部 技術営業 ⼩林 TEL：026-248-1626、FAX：026-251-2160 受付時間 9：00〜17：00(土⽇・祝⽇を除く)

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多孔質セラミックスの中でも気孔率の違いから、アルミナ素材の【AZP60】、【AZPW40】、【AZPW45】と、SiC素材の【AZPS40】を取りそろえております。用途に応じてお選びください。 ◆多孔質セラミックスの特徴 ●材質：高純度アルミナ(純度99.6％)、炭化ケイ素（SiC） ●低熱伝導率 ●低誘電率 ●ネジ加工（タップ、ブッシュ、インサート）など複雑形状も製作可能 ●気孔率は調整可能 ◆多孔質セラミックスの用途 製品例：多孔質セラミックスを使ったチャック ●多孔質真空セラミックチャック ●部材の軽量化（比重：アルミより軽い） ●断熱プレート ●吸着板 ●製膜装置などでの膜剥がれ防止部材 ●低誘電体としてのアプリケーション ◆多孔質セラミックスの種類 弊社では、製造方法の違いから、いくつかの種類の多孔質セラミックをご用意しております。用途に応じて、ご希望のものをお選びください。 気孔部分が多いほど気孔率が上がり、空気を通りやすくします。 気孔率は調整可能ですので、別途ご相談ください。

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アスザックでは、一般的な炭化珪素(SiC)の他に、高純度炭化珪素(SiC3N)のグレードも用意してございます。　　 高純度炭化珪素(SiC3N)の特長と詳細がございますので、用途に応じてお選びください。 ◆高純度炭化珪素(SiC3N)とは、上記炭化珪素（SiC）の純度が99．9％のものです。 通常炭化珪素(SiC)の特性、高強度、高耐熱性、耐摩耗性等を活かしたまま、重金属成分の含有量を数ppmに抑えました。厚い物や大型品にも対応可能です。 通常の炭化珪素では汚染が気になるなどの用途に適しています。 常圧焼結での作製なので成膜法より安価です。

• ファインセラミックス

アルミナ(Al2O3)の中でもアスザックは、通常で4グレード【AR-99.6、ARW、ARK、AR-4N】、特殊アルミナで1グレード【AR(B)】を取りそろえております。 以下にそれぞれの特長と詳細がございますので、用途に応じてお選びください。 ◆AR-99.6は、ファインセラミックスの中でも機械的、熱的、電気的、磁気的、化学的に様々な優れた特性をもつアルミナです。 その中でも最も汎用的なアルミナ純度99.6％以上のグレードです。 ◆ARW / ARKは、ドクターブレード法という成型法で作られる薄型のアルミナです。色は白色で、アルミナ基板、ダミーウエハーなどに実績があります。 ARWは純度99.6％で、ARKは純度96％です。 厚みは1～2ｔ程度の薄型製品を安価にお作りすることができるグレードです。 ◆AR-4Nは、原料となるボーキサイトに含まれるアルカリ金属を少なくし、重金属の少なくしたグレードです。 ◆AR(B)　ブラックアルミナは、アルミナの機械的特性を保有しつつ低反射率を持った素材です。ファインセラミックスの強度、 耐久性を維持しながら表面反射を抑える事ができます。

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