パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの登場！
半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド（エンドエフェクターのこと）には内部に流路を設ける必要がありますが、接着剤を使用するSUS貼りは、異物混入のリスクを増加させます。メタルコンタミネーションやパーティクルの混入リスクがない当社の空洞一体技術でつくられたセラミックス吸着搬送ハンドは業界標準となっています。PeriZacはウエハの接触面積、接触位置を工夫し、回路の作り込まれない外周部分をやさしく保持することで更にパーティクルの低減を図りました。歩留まりの向上を目指す半導体デバイスメーカー様向けに好評をいただいております。
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基本情報
【商品概要】 商品名 PeriZac 材質 アルミナ サイズ (mm) 330ｘ226ｘ2.3 対応ウエハサイズ 12 インチ 発売⽇ 2020 年 8 ⽉ 【製品特徴】 ・ウエハ裏⾯を外周 3mm で吸着することで、接触によるパーティクル発生を抑制 ・ウエハにダメージを与え難い材質をガイドに採⽤ ・アスザック独自の接着剤を使⽤しない空洞⼀体技術で薄型化が可能 ・センサー取り付けなどのオプションに対応 ウエハ外周吸着セラミックスハンド 【製品仕様】 大気仕様のハンドです。ウエハの外周を 4 箇所で吸着し、搬送します。 取り付け⽳の加工、根本の⻑さ、幅の変更に対応可能。 【本件に関するお問い合わせ先】 アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部 技術営業 ⼩林 TEL：026-248-1626、FAX：026-251-2160 【商品購入などお問い合わせ先】 アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部 技術営業 ⼩林 TEL：026-248-1626、FAX：026-251-2160 受付時間 9：00〜17：00(土⽇・祝⽇を除く)
価格情報
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価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
~ 1ヶ月
※加工、センサー等の取り付け有無によって変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
搬送ロボットのウエハを掴むエンドエフェクターとして、EFEM、ストッカー、各種半導体製造装置にご使用頂いております。
企業情報
アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部では、 ●トップクラスの大型アルミナ板品を製造できます ◇全長３ｍ超えるアルミナ板品を素材販売から希望形状の加工まで対応可能です！ ●トップレベルの加工技術で、炭化ケイ素（SiC）を短納期で製作致します ◇高純度品も取り揃え、量産が可能です。特に板形状は得意としております！ ●小ロットでも、単品でも対応させて頂きます ◇VE、VA提案もさせて頂きます！ ファインセラミックス（アルミナ、炭化ケイ素SiC、ジルコニア、低熱伝導セラミックアルシーマ、ブラックアルミナ、多孔質アルミナ等各種セラミックス）の開発・製造・加工・販売を行っております。 企業HPはこちらをご覧下さい（http://www.asuzac-ceramics.jp/）
