【取扱製品（抜粋）】 ■フィードバックステージシステム ・1nmフィードバックステージシステム ・5nmフィードバックステージシステム ・10nmフィードバックステージシステム ・サブミクロンフィールドバックステージシステム ■真空対応フィードバックステージシステム ・真空対応1nmフィードバックステージシステム ・真空対応5nmフィードバックステージシステム ・真空対応10nmフィードバックステージシステム ・真空対応サブミクロンフィードバックステージシステム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

接続対象：FC-110 / FC-410 / FC-510 / FC-610 / FC-910シリーズ 制御軸数：2 機能：十字JOG操作、JOG速度段階切替、JOG指令パルス量切替、 機械原点復帰、電気原点復帰、座標値ゼロクリア、ビジーエラーキャンセル、ティーチング操作、コントローラモード切替、スリープ実行、キー操作無効、電力供給遮断、緊急停止 ■□■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■□■