イワキの製品・サービス一覧

イワキエアー駆動ダイヤフラムポンプ TCシリーズは、金属タイプと樹脂タイプを合わせ、100を超える豊富な機種を用意。 心臓部のエアー切換方式に、新開発のループドＣスプールと新メカニカル方式を採用することで作動安定性が向上しました。 【特長】 ●エアー室の構造変更により、従来機種に比べエアー消費を大幅に削減しました。 ●高圧吐出が可能で、圧力制御もエアーレギュレータの調整によって容易に行えます。 ●圧縮エアーで駆動するため防爆対策は不要です。 ●一貫した国内生産でタイムリーなサービスを提供 ●完全自吸式で、吸上げ・ドブづけ・押込み、いずれの場合でも使用できます。 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

イワキエアー駆動ダイヤフラムポンプ TCA501BW-FM-Yは、フラップバルブを採用した固形物移送用モデルです。 最大30mmの大型固形物やスラリー・スラッジの移送が可能です。 【特長】 ●大きな固形物（最大30ｍｍ）を含む液体、スラリー・スラッジなどの移送が可能です。 ●自給能力も高く、ドライ時に4ｍ下から吸込可能。 ●エアー切替方式はメカニカルを採用。止まり難く、エアー消費量が少ない（従来型と比較） ●ポンプ部を分解することなくバルブ部のみ簡単にメンテナンスできます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

イワキエアー駆動ダイヤフラムポンプ TCR501WB-2Sは、分解・洗浄のしやすさを追求したSUS316L製ポンプです。 シンプルな構造でクランプの数が少なく、一人でもメンテナンスが容易。本体が回転する独自構造で、液の回収や排水、清掃が簡単です。 【特長】 ●本体が回転する構造のため分解と洗浄が簡単で、残液の回収も可能です。 ●回転構造でクランプの数も少なく、分解・組み立てが簡単です。 ●マニホールド締結箇所に特殊構造を取り入れ、優れたシール性を実現。 ●SUS316製（改正食品衛生法適合材料を使用） ●完全自吸式で高粘度液を移送。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

イワキエアー駆動ダンパー CFシリーズは、エアー駆動ダイヤフラムポンプ TC型専用のダンパーです。 【特長】 ●TC型同様の接液部バリエーションを用意。 ●配管の振動を抑え、フィルターを保護します。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

イワキエアー駆動低脈動ベローズポンプ FLPシリーズは、独自の駆動メカニズムで低脈動移送を実現したエアー駆動ベローズポンプ。従来品よりもエアー消費量を最大３０％も削減します。 また、ダンパーの組み込みが不要で省スペース。配管作業もカンタンで高価な配管材を減らせるため、トータルコスト削減も可能にします。 【特長】 ●脈動を打ち消す独特の駆動メカニズム。 ●枚葉式洗浄プロセスに適した優れた負荷追従性。 ●ダンパーが不要なので、装置の小型・軽量化に貢献します。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2は、Max180℃、最大流量100L/minでの移送が可能となり、CARO（SPM）やH3PO4などの高温移送が必要な薬液に対して、当社従来製品と比較して約1.8倍の循環流量の向上が見込めます。 【特長】 ●Max. 180℃、最大流量100L/minでの移送が可能。 ●循環流量の向上により、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●リークセンサを標準装備。 ●専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズは、高圧（0.6MPa以上）・大流量吐出が必要な薬液供給に最適な半導体プロセスポンプです。 【特長】 ●Max. 100L/minの大流量吐出。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Hシリーズは、Max. 240spmの高速ストロークで、小型・軽量・ローコスト化を実現しました。 【特長】 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ●専用コントローラに接続することにより吐出量の制御・管理が容易に行えます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

イワキ薬液補充ポンプ CFDは、高精度な薬液注入が可能で、半導体製造プロセスの強酸・強アルカリ補充に最適です。 【特長】 ●優れた精度で薬液を正確に注入、ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。 ●強酸、強アルカリ、過酸化水素水などの薬液に対応する高い耐食性。 ●圧縮空気を動力とする安全なエアー駆動ベローズポンプです。 ●サイホン防止機構により、薬液の流出を防止。 ●幅広い吐出量範囲をカバー。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズは、半導体製造プロセスのレジスト塗布工程をはじめ種々の要求に対応できます。 【特長】 ●フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注。 ●サックバック（オプション）を取付けることにより吐出端からレジストのボタ落ちを防止できます。 ●シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能。 ●接液部材質は、ステンレス（SUS304）タイプと、フッ素樹脂（PTFE、PFA）タイプを用意。 ●システム組込みに最適な形状選択が可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

イワキエアー駆動ダイヤフラムポンプ TCR255は、分解洗浄がしやすくメンテナンスが楽なエアー駆動のダイヤフラムポンプです。 特殊工具を使わず簡単に分解洗浄や組立が行えます。 【特長】 ●優れたメンテナンス性で、ダイヤフラムの交換は10分程で完了できます。 ●マニホールド締結箇所に特殊構造を取り入れ、優れたシール性を実現。 ●液だまりがなく菌やコンタミの発生を防ぐ、ワンピース製ダイヤフラムを採用。 ●高粘性液や固形物の混ざる液体の移送に適しています。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

「ナノリンク　システム（Nano Link System　通称：ナノリンク）」は、シールリングを挟み、クランプするだけのシンプルな薬液配管です。 基本パーツは、シールリング、ナノリンクボディ、クランプの3つだけ。 これまでにない安全性や省スペース化に貢献します。 対応機種：FS-15/30/60/80・FW-20/40/80 ※その他の機種についてはお問合せください。