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稀ガス 貴ガス Noble gas
ヘリウムHe,ネオンNe,アルゴンAr,キセノンXeなど地表及び大気中に含まれる量が非常に少ないガスでご使用いただけます。 リークタイト設計 圧縮熱対策水冷用配管 ポンプヘッド表面温度モニタ(オプション)