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磁性流体シール
磁性流体シールは、故障率低減への解決策としてハードディスクに多数採用されており、歩留まり改善の解決策として各種生産設備にも応用されています。 ウェーハー搬送ロボットなど、クリーンルーム内で使用される設備の駆動部に磁性流体シールを装着することで、塵の発生を防止します。また、導電性磁性流体を使用すれば、静電気によりベアリングの腐蝕対策としても効果を発揮しています