【その他の仕様】 ■保護管材質：316LSS/316SS/304SS ■フランジ種類：ASME Class 150 4/5/6inch ■フランジ材質：316LSS/316SS/304SS ■構造：片端子形ヒータ 9本（標準）交換可能 ■温度制御：サーモスタット 2基搭載 ■設定温度範囲：100～200℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■パネルヒーターを何枚も組み合わせることにより8Gを超えるような大型ガラス基板でも 　細やかな温度制御が可能 ■半導体製造装置に使用するホットプレートでは早い昇温スピードと均一な温度分布が可能 ■端子部にセラミック気密端子を使用することで真空中での電源取り合いが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【ラインアップ】 ■MP11（両端子形細径シースヒーター） ■MP20（熱電対内挿型 細径カートリッジヒーター） ■MP21（片端子形細径シースヒーター） ■MP35（片端子形細径マイクロヒーター） ■MP35K（非発熱部付細径マイクロヒーター） ■MP36（両端子形細径マイクロヒーター） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。