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MEMSデバイス及び、TSV等の様々な構造が検討される中、次世代デバイスのCMPプロセスに対応すべく適切なCMPスラリーを自社開発し、お客様のニーズに適応したCMP受託加工を行っている。数枚の試作から数万枚に至る量産加工のみならず、テクニカルトランスファー(CMPプロセス移管)も行っている。

事業内容
CMPファンダリーサービス(日本) MEMS用CMPスラリー(日本) 研削加工サービス 成膜パター二ングサービス(日本) テストウエハ販売(日本)
製品・サービス (4)
詳細情報
企業名 | 株式会社D-process |
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連絡先 | 〒101-0046 東京都千代田区神田多町2-2-22千代田ビル4F地図で見る TEL:03-3257-5233 FAX:03-3257-5234 |
業種 | その他 |