トヤマの製品・サービス一覧

トヤマが取り扱う高精度アウトガス測定装置をご紹介します。 ベーキングは最大250℃を誇り、到達真空度はベークアウト後10^-8 Pa。 試料の放出ガス量及びマススペクトルを精密に測定します。 カスタマイズ可能ですので、ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■測定方法はスループット法とビルトアップ法の選択が可能 ■用途に合わせてカスタマイズ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他計測・記録・測定器
• 食品試験/分析/測定機器
• 放射線測定器

『STXM』は、コンパクトかつリジットな設計の放射光用走査型 透過X線顕微鏡です。 透過、蛍光、電子収量など検出器の組み合わせ計測。 ゾーンプレートを使用し高空間分解能20～100nmを誇ります。 当社は、使いやすいデータ取得ソフトなどお客様のご要望に応じて カスタマイズ開発いたします。 【特長】 ■ゾーンプレートを使用し高空間分解能 ■5nm以下の位置安定性 ■コンパクトかつリジットな設計 ■検出器の組み合わせ計測 ■使いやすいデータ取得ソフト ■放射光ビームラインとのハード・ソフト連携 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 光学顕微鏡
• 電子顕微鏡
• レーザー顕微鏡

トヤマが取り扱う光電子分析装置『NanoESCA III』をご紹介します。 2Dスピンフィルターイメージとの互換性を誇り、 サンプル移動をすることなく、180°のARPES測定が可能。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■エネルギーフィルター「実空間&モーメンタム空間」のライブビュー ■微小領域ARPES分析の精密な試料位置決定 ■サンプル移動をすることなく、180°のARPES測定が可能 ■2Dスピンフィルターイメージとの互換性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他機械要素
• 分析機器・装置
• 分光分析装置

トヤマが取り扱う電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』をご紹介します。 UHV条件での超高純度サブモノレーヤーから多層薄膜の成膜に特化。 多くの実績のある「EFM 3」の他、イオンビームアシストタイプの「EFM 3i」 大型サンプル用の「EFM 4」など、豊富なラインアップがございます。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■有機分子の蒸着への応用が可能 ■豊富なラインアップ ■UHV条件での超高純度サブモノレーヤーから多層薄膜の成膜に特化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 蒸着装置
• その他機械要素

新対向ターゲット式スパッタ（New Facing Targets Sputtering：NFTS）技術は 高密度プラズマを箱型空間に拘束することにより、堆積基板へのエネルギー種 （反跳粒子、イオン、電子）の衝撃によるダメージを抑制できる原理・構造を 特長とする成膜技術です。 NFTS技術により、これまでのスパッタ技術では困難とされていた低温・低ダメージで 高品質な薄膜を形成することができ、かつ高い生産を有する成膜技術となっています。 【特長】 ■対向ターゲット構造 ・対向ターゲット間におけるプラズマ拘束 　→基板への高エネルギー粒子の抑制→低ダメージ成膜 　→基板への大量の電子抑制（ジュール熱の抑制）→低温成膜 ■プラズマ源の箱型化 ・真空槽とプラズマ源の分離 　→真空槽の小型化による装置全体の小型化を実現 　→装置の操作性・メンテナンス性の向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 環境試験装置
• その他理化学機器
• その他機械要素

トヤマ"モノづくりの殿堂"は、神奈川県の西部、山北町の丸山の頂上に 位置し、西には富士山、南には相模湾を望む好立地にあります。 世界最高水準の実験装置の製造・試験に適した環境を得るために、 新本社工場の建設地は慎重に選ばれました。 卓越した製造拠点をつくるための数年間にわたる準備、努力の賜物として、 2015年4月1日に"モノづくりの殿堂"は落成いたしました。新しい装置も 多数導入され、高品質のモノづくりが実現できる環境となりました。 【特長】 ■放射光と加速器 ■設計とモデリング ■機械加工工場 ■組立検査エリア ■クリーンルーム ■研究開発 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 分析機器・装置
• 環境試験装置
• その他理化学機器

トヤマの『LICA-MS400』は、自動車排ガス中に含まれるVOCなどを 発生現場でそのまま測定できる小型リアルタイムVOC分析器です。 UVレーザーによるイオン化によって、高効率な同時多成分イオン化が可能。 飛行時間型質量分析を用いるため、全質量数をリアルタイムに同時検出、 時間による濃度変化に対応できます。 【特長】 ■リアルタイムで成分測定が可能 ■高効率な同時多成分イオン化が可能 ■時間による濃度変化に対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 分析機器・装置
• 環境試験装置
• その他理化学機器

トヤマの『FILMER』は、高分子材料や有機・無機複合材料の研究・開発の 現場ニーズに答える、飛行時間型二次イオン質量分析装置です。 マッピング面分解能50nmの高空間分解能を達成し、 質量分解能（m/Δm): 5,000@m/z=56を両立しました。 レーザーSNMS採用で、信号イオン発生効率の向上を実現し、 有機物高感度分析を行うことが出来ます。 【特長】 ■高空間分解能達成 ■in-situで加工・分析も可能 ■レーザーSNMS採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 分析機器・装置
• 環境試験装置
• その他理化学機器

トヤマ社が取り扱う、各種実験装置・機器類の総合カタログです トヤマの基板技術を集結した製品例を多数ご紹介しております ◆◆掲載製品◆◆ 　　○半導体関連実験装置 　　○物性研究用分析装置 　　○分光器 　　○放射光用実験装置 　　○薄膜形成装置 　　○核融合関連実験装置 　　○粒子加速器 　　○ビームラインコンポーネント ◆◆カタログご希望の方はダウンロードよりお問合わせ下さい◆◆

• その他半導体製造装置
• その他計測・記録・測定器