【特徴】 ○ペーパーエレメント：２ミクロンで99％以上のろ過精度 ○ポリエステルエレメント：25ミクロンで99％以上のろ過精度 【オプション】 ○エポキシ塗装ハウジング ○亜鉛メッキ ○接続方法の変更 ○特殊接続 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○真空レベル →典型的な真空レベルは1×10－³mmHg（1.3×10－³mbar） ○ポリエステル：5ミクロンで99％以上のろ過精度 ○ペーパー： 2ミクロンで99％以上のろ過精度 【オプション】 ○Ｌ型フィルタ（VLシリーズ） ○大型ハウジング（高吸着能力） ○各種エレメント ○ステンレス仕様 ○エポキシコーティングハウジング ○サポートブラケット ○お客様ご要求接続継手 ○脱臭対策のための活性炭プレフィルタ ○JISサイズフランジ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○真空レベル →典型的な真空レベルは1×10-³mmHg（1.3×10-³mbar） ○ポリエステル：5ミクロンで99％以上のろ過精度 ○ペーパー： 2ミクロンで99％以上のろ過精度 【オプション】 ○水平型（VSシリーズ） ○大型ハウジング（高吸着能力） ○各種エレメント ○ステンレス仕様 ○エポキシコーティングハウジング ○サポートブラケット ○お客様ご要求接続継手 ○脱臭対策のための活性炭プレフィルタ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【特徴】 ○SpinMeister(TM)プレクリーナ →5ミクロンまでの微粒子に対して、 85%以上の分離効率 →高耐久性の繊維含浸合成材料 →圧力降下の低減が少なく、流入空気内の大きな異物を除去できる ○空気流はその後下流の吸込フィルタに進入し、99％以上のろ過精度を 　持つプリーツ型エレメントでろ過される ○透明バケットは2”から4”までの接続口径モデルに適用 →大きな塵保持能力 →クリップリリースシェルによりメンテナンスが簡単 【オプション】 ○各種形状 →吸込Ｌ型フィルタ →吸込フィルタアセンブリ ○アルミ製SpinMeistersTM ○大容量フィルタ ○各種エレメント ○VS及びVLシリーズモデル ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

※詳細は、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

【特徴】 ○３０４と３１６のステンレス製吸入フィルタ、フィルタサイレンサと 　 真空フィルタは豊富なラインナップがあります。 ○食品グレードと酸化防止剤、化学と製薬分野でのステンレスフィルタの 　 交換用エレメントについてはお尋ねください。 ○又、電解研磨やサンドブラストなどの特殊仕上げもご利用いただけます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○フィルタエレメントの条件及びフィルタアセンブリに集められた塵の量を簡単にチェックすることができます。 ○シースルーバケットは極度に厳しい条件に適するとともに、SolbergＣＴシリーズ真空フィルタ（２”～４”）に 　 備わった利点を全てご利用いただけます。 ○SpinMeister、特許申請済 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○ＵＬＰＡメディアと配管設計は医療システムに適合しています。 　独自のテストで確認された性能は認証されております。 　・９９．９９％　０．１２ミクロン以上 　・高ダスト捕集容量 　・エレメントに対するエア比が低く、圧力損失を最小に抑えられますので最良のポンプ性能が得られます。 ○耐食性アルミダイキャスト及び内蔵バッフルつきのヘッド ○衝撃に強いシースルーバケットは汚染物質のレベルのチェックが容易に目視で行えます。 ○汚染液排出のための真鍮バルブと継手 ○容易に脱着できる殺菌可能なドレンフラスコ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○鋳物ヘッドセンターにコンプレッサーエア接続用の３／８”タップ設置。 ○穴のあいたセンターロッドからフィルタエレメントの内径にパルスエアーを噴射することにより 　 ダストと堆積物をシェルの底に落として運転寿命を延長させます。 ○ポリカーボネート製シースルー容器。 ○真空度：代表例０．００１ｍｍＨｇ。 ○密閉型組み立てフィルターは耐静電仕様です。 ○高引張強度は寸法的安定を可能にします。 ○ダスト保持容量の増大（オプション） ○内蔵型入口バッフル ○コンパクトデザインで必要運転スペースを最小化ができます。 ○入口はエレメントの上方にありエレメントの寿命とメンテナンス間隔を長くしています。 ○“Ｔ”型デザインは関連配管を最小化しています。 ○“ダスト落下型”ハウジングは運転とダスト捕集を容易にします。 ○頑丈なスイング型ボルトは取り外しを容易にします。 ○耐熱温度： 　・密閉型組み立て　ｍａｘ：１０４℃ 　・投資型容器　ｍａｘ：１４３℃ ○電磁弁（オプション） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○逆洗パルス技術を組み込むことにより、メンテナンスの間隔が大幅に延び、フィルタの寿命を延長させます。 ○ＰＴＦＥメディア：０．３ミクロンで９９．９７％のろ過精度 　連続耐熱温度　１３５℃ ○Dutch Twillメディア：公称粒径１０ミクロン 　連続耐熱温度　２０５℃ ○互換性のあるエレメントは容易に交換できます。 ○一体化されたサポートスタンドにはガイドが付いており、メンテナンスを簡素化します。 ○炭素鋼またはステンレス鋼構造 ○大きな回収容器はメンテナンスの間隔を延長させます。 ○高コンダクタンス設計 ○リーク量：最小標準１×１０(-7)ｍｂａｒ Ｌ／ｓｅｃ． ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○ソルバーグはマーケット特定の解決策として実証された、 　パルス洗浄式技術を導入しました。ＲＸシリーズです。 ○ＲＸシリーズはパルス状の大気エアーまたは不活性ガスをシステムに吹き込むことにより、 　メンテナンス間隔の延長と製造効率を改善することができます。 ○このシステムはダストが堆積したフィルタからダストをパージして、 　下部のチャンバーに集積して容易に処分できます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○摩耗性粒子はポンプを早期に破壊し、その結果運転停止させ復旧させるにはコストが高くつくことになります。 ○高真空で運転中に逆流を防ぐことは、製造工程の汚染防止には不可欠です。 ○ソルバーグの吸込真空フィルタ及びトラップの広範なラインは、ウエットとドライ双方の 　真空ポンプ仕様に見合う様に設計されています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○エレメントの中へ内蔵のバタフライガスケットシールがハウジング下部の半球間のシールを確実にします。 ○ペーパーエレメント：２ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○ポリエステルエレメント：２５ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○耐久性のある一体型ハウジング ○豊富な交換可能エレメント（例えば；ＨＥＰＡ等） ○耐久性のある炭素鋼構造（亜鉛メッキ仕上げも可能） ○縦でも水平でも取付可能 ○使用可能温度範囲：－２６℃～１０４℃ ○真空度：６９８ｍｍＨｇ ○エレメント交換推奨差圧：初期差圧から２５５～３８０ｍｍ　Ｈ2Ｏ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○豊富な種類の互換性エレメント。要求アプリケーションにより簡単にエレメントの交換が可能。 ○真空度：通常は０．００１３ｍｂａｒ ○ＩＳＯフランジ標準：容易に取り外せるクランプフランジでメンテナンス性向上。 ○耐食性ニッケル仕上げ ○耐久性のあるハウジング ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○真空レベル：典型的な真空レベルは０．００１ｍｍＨｇ ○エレメントの交換が簡単且つ清潔 ○ハウジング材質：炭素鋼（亜鉛メッキ） ○耐久性の良いステンレス製Ｔ型ボルト ○Ｏ－リングによる確実なシール ○シームレスハウジング ○水平に又は裏返しに据え付けた場合でも、塵を吸着する能力が大きく、現場での清掃が簡単 ○真空継手 ○使用可能温度範囲：最低－２６℃、最高１０４℃ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○エレメントの交換が簡単且つ清潔 ○ハウジング材質：炭素鋼（ニッケルメッキ処理） ○ステンレス製クリップ標準装備 ○シームレスハウジング ○水平に又は裏返しに据え付けた場合でも、塵を吸着する能力が大きく、現場での清掃が簡単 ○真空用継手 ○使用可能温度範囲：最低－２６℃、最高１０４℃ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○真空レベル：典型的な真空レベルは０．００１ｍｍＨｇ ○スペースの狭いところに設置できるコンパクト化設計 ○クイックリリースＶバンドクランプによりメンテナンスが容易 ○耐久性の高い炭素鋼構造 ○確実なＯリングシール構造 ○塵を吸着する能力が大きく、現場での清掃が簡単 ○低い圧力損失 ○ゲージタップは吸込口と排出口とも１／４” ○ポリエステル：５ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○ペーパー：２ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○使用可能温度範囲：最低－２６℃、最高１０４℃ ○エレメント交換差圧：初期差圧から２５５～３８０ｍｍ　Ｈ2Ｏ ○圧損データの提出可 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○真空レベル：典型的な真空レベルは０．００１ｍｍＨｇ ○スペースの狭いところに設置できるコンパクト化設計 ○クイックリリースＶバンドクランプによりメンテナンスが容易 ○耐久性の高い炭素鋼構造 ○確実なＯリングシール構造 ○塵を吸着する能力が大きく、現場での清掃が簡単 ○低い圧力損失 ○ゲージタップは吸込口と排出口とも１／４” ○ポリエステル：５ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○ペーパー：２ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○使用可能温度範囲：最低－２６℃、最高１０４℃ ○エレメント交換差圧：初期差圧から２５５～３８０ｍｍ　Ｈ2Ｏ ○圧損データの提出可 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○粉塵の多い極度に厳しい条件下でのろ過に最適です。 ○フィルタエレメントの寿命を大幅に延長できます。 ○吸気による遠心力は微粒子を空気流から分離し、外側カバー付近に移動させ排出口から排出されます。 ○ＳｐｉｎＭｅｉｓｔｅｒ(TM)プレクリーナー：１５ミクロンまでの微粒子に対して、８５％以上の分離効率 　・高耐久性の繊維含浸合成材料 　・ＳｐｉｎＭｅｉｓｔｅｒは圧力降下の低減が少なく、流入空気内の大きな異物を除去できます。 ○空気流はその後下流の吸込フィルタに進入し、９９％以上のろ過精度を持つプリーツ型エレメントでろ過されます。 ○透明バケットは２”から４”までの接続口径モデルに適用されます。 　・大きな塵保持能力 　・確実なシール構造 ○ポリエステル：５ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○ペーパー：２ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○使用可能温度範囲：最低－２６℃、最高１０４℃ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○真空レベル：典型的な真空レベルは０．００１ｍｍＨｇ ○Ｔ型のコンパクト設計。保守部分も最小限。 ○吸込口がエレメントの上部にあるため、エレメントの寿命が延び、メンテナンス周期が長くなります。 ○キャストアルミトップ（耐腐食）には加工継手が一体となっています。 ○Ｔ型設計により配管を必要最小限にできます。 ○ゲージポートは１／４” ○透明バケットにも対応できます。 ○高耐久性ブラックバケット ○Ｄｒｏｐ－Ｄｏｗｎハウジングにより保守と塵の管理が簡単 ○キャスティング上部にはブラケット用のタップが４ヵ所あります。 ○低い圧力損失で確実なシール構造 ○使用可能温度範囲：最低－２６℃、最高１０４℃ ○エレメント交換差圧：初期差圧から２５５～３８０ｍｍ　Ｈ2Ｏ ○スイングボルトは５”と６”に採用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○真空レベル：典型的な真空レベルは０．００１ｍｍＨｇ ○メンテナンスを簡単にするための高性能Ｔボルト ○ハウジング材質：炭素鋼、仕上塗装：エナメル塗装（標準：黒） ○低い圧力損失 ○確実なＯリングシール構造 ○特に水平に又は裏返しに据え付けた場合、塵を吸着する能力が大きく、現場での清掃が簡単 ○ゲージタップは吸込口と排出口とも１／４” ○出荷前に気密試験実施 ○ポリエステル：５ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○ペーパー：２ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○使用可能温度範囲：最低－２６℃、最高１０４℃ ○エレメント交換差圧：初期差圧から２５５～３８０ｍｍ　Ｈ2Ｏ ○圧損データの提出可 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○真空レベル：典型的な真空レベルは０．００１ｍｍＨｇ ○メンテナンスを簡単にするための高性能Ｔボルト ○ハウジング材質：炭素鋼、仕上塗装：エナメル塗装（標準：黒） ○低い圧力損失 ○確実なＯリングシール構造 ○特に水平に又は裏返しに据え付けた場合、塵を吸着する能力が大きく、現場での清掃が簡単 ○ゲージタップは吸込口と排出口とも１／４” ○出荷前に気密試験実施 ○ポリエステル：５ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○ペーパー：２ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○使用可能温度範囲：最低－２６℃、最高１０４℃ ○エレメント交換差圧：初期差圧から２５５～３８０ｍｍ　Ｈ2Ｏ ○圧損データの提出可 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○真空レベル：典型的な真空レベルは０．００１ｍｍＨｇ ○メンテナンスを簡単にするための高性能Ｔボルト ○ハウジング材質：炭素鋼、仕上塗装：エナメル塗装（標準：黒） ○低い圧力損失 ○確実なＯリングシール構造 ○特に水平に又は裏返しに据え付けた場合、塵を吸着する能力が大きく、現場での清掃が簡単 ○ゲージタップは吸込口と排出口ともに１／４” ○出荷前に気密試験実施 ○ポリエステル：５ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○ペーパー：２ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○使用可能温度範囲：最低－２６℃、最高１０４℃ ○エレメント交換差圧：初期差圧から２５５～３８０ｍｍ　Ｈ2Ｏ ○圧損データの提出可 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○真空レベル：典型的な真空レベルは０．００１ｍｍＨｇ ○シームレスハウジング ○真空用継手 ○ステンレス製クリップ ○低い圧力損失 ○確実なＯリングシール構造 ○特に水平に又は裏返しに据え付けた場合、塵を吸着する能力が大きく、現場での清掃が簡単 ○ハウジング材質：炭素鋼 ○仕上塗装：エナメル塗装（標準：黒） ○ポリエステル：５ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○ペーパー：２ミクロンで９９％以上のろ過精度 ○使用可能温度範囲：最低－２６℃、最高１０４℃ ○エレメント交換差圧：初期差圧から２５５～３８０ｍｍ　Ｈ2Ｏ ○圧損データの提出可 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

単/多結晶半導体素材、薄膜製造工程及び積層工程に使用される 真空装置における寿命と信頼性にとって不可欠な有害粒子の 除去に最適な真空フィルタです。 【特長】 ◆高効率濾過！９９．９７％　＠０．３ミクロン ◆ウエット、ドライ、双方の真空ポンプ使用に見合うように設計 ◆逆流防止対策可能 ■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□■□ ＝＝＝＝＝詳細はお問い合わせ、またはカタログを 　　　　　　　　　　　　　ダウンロードしてください＝＝＝＝＝