【仕様（圧縮機）】 ■型式：C30HVRT ■冷却方式：水冷式 ■電源定格 　・AC200V×3φ×50Hz 　・AC220V×3φ×60Hz ■消費電力：5.8/7.2kW(50Hz/60Hz) ■冷却水：9L/min(20℃) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• その他ポンプ
• 冷却装置
• その他

【仕様（圧縮機）】 ■型式：C30HVRT ■冷却方式：水冷式 ■電源定格 　・AC200V×3φ×50Hz 　・AC220V×3φ×60Hz ■消費電力：5.8/7.2kW(50Hz/60Hz) ■冷却水：9L/min(20℃) ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【ラインナップ】 ○CRYO-U4H/U6H/U8H/U10H/U12H ○CRYO-U16H/U16P/U20H/U20P ○CRYO-U22H/U22P/U22WB/U30H ○L型：CRYO-U8HL/U10HL/U12HL [コンプレッサユニット] ○C10/C10AT/C15R/C40R ○C30VR/C30MVR/C30PVRT/C30PMVRT [クライオ マルチシステム] ○CRYO-U6H・3/U8H・3/U10H・2/U8H・4 [スパッタリングプロセス用クライオポンプ] ○CRYO-U8HSP/U1HSP/U12HSP [スーパートラップ] ○スーパートラップシリーズ ○Speed TSシリーズ [極低温冷凍機] ○4K冷凍機 ○GM冷凍機 [オプション] ○再生用コントロールユニットARC型 ○再生ガス配管ユニットPR型 ○再生用バンドヒーターPBH型 ○クライオ熱電対温度計MBS-C ○クライオメータMBD型 [特殊クライオポンプ] ○急速常温再生　他 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 真空ポンプ
• その他ポンプ

◎ラインナップ◎ 形式　EMP-07A/EMP-07W 形式　EMP-14A/EMP14W 形式　EMP-20W

• 窒素ガス発生装置

【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプを運転するマルチシステム ◆クライオポンプ群の集中管理・制御システム「UCIS/ユーシス」 さらに、再生時間短縮のためにバンドヒーター、ノイズに強いクライオ温度計、水分の多い場合の 排気にスーパートラップ、自動再生装置など豊富なオプションをそろえております。 ※詳細はお問い合わせください。

• 真空ポンプ
• その他ポンプ

【特徴】 ○アルゴンの排気容量は従来機種（U8H）の約2.5倍 ○水素の排気速度は約1.2倍に向上 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 真空ポンプ

【特徴】 ○イニシャルコスト、ランニングコストを大幅に低減 ○クラス最大の排気速度 ○メンテナンスインターバルを16,000時間に延長 ○急速再生等、用途に応じたバリエーションが選択可能 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 真空ポンプ

【特徴】 ○4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。 ○高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。 ○特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。 ○１台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。 ○ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 真空ポンプ

【特徴】 ○大型成膜装置に最適。 ○水に対する排気速度は最大。 ○メンテナンスインターバル　16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 真空ポンプ

【特徴】 ○大型成膜装置等の生産装置に最適。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○メンテナンスインターバル　16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 真空ポンプ

【特徴】 ○中、大型生産装置に最適。 ○CRYO-U16の高負荷型。 ○メンテナンスインターバル　16000時間。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 真空ポンプ

【特徴】 ○中、大型生産装置に最適です。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○熱負荷に強いタイプ。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 真空ポンプ

【特徴】 ○中、大規模生産装置に最適。 ○熱負荷に強く、多様なプロセスに対応。 ○メンテナンスインターバル16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 真空ポンプ

【特徴】 ○アルゴンの排気容量は従来機種（U12H）の約2倍 ○水素の排気容量は従来機種（U12H）の約1.5倍 ○再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上、膜質の向上に貢献します。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 真空ポンプ

【特徴】 ○大型成膜装置、スペースチャンバー等に最適。 ○水に対する排気速度は最大。 ○メンテナンスインターバル　16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• 真空ポンプ