ウェーブフロントの製品・サービス一覧

基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、 より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとして お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴 ・低圧プラズマ解析を得意とします ・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで 装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします ・2D(2次元)3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ・自社開発ソフトの強みとしてカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

研究開発でも機械学習やAIの活用が望まれる時代に突入したと 言われています。 当社では、機械学習やAIを活用した業務効率化のお手伝いをいたします。 経験豊富なエンジニア達が「パッケージソフト販売」、「受託解析」など お客様のニーズに応じたさまざまなプランを提案させて頂きます。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【当社取扱いソフト】 ■予測モデル構築ツール「Neural Designer」 ■プラズマ解析「Particle PLUS/DL」 ■データ・サイエンス・ツール「Pipeline Pilot」 ■材料開発解析ソフト「Materials Studio」 ■電子実験ノート「BIOVIA Notebook」 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです ・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする ・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能 ・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析 ・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能 ・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析 ・自社開発ソフトの強みとして 　お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布 ・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布 ・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス ・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル ・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布 など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 sales@wavefront.co.jp

今回は、特性値を予測することで最適な実験条件の傾向を掴むことを目的としました。 <背景> 従来から現代にかけて、どの分野に関わらずより良い特性値をもつ材料を開発することは重要な業務であり、かつ重要な課題でもあります。 また、材料の特性値は様々な要因によって左右されてしまうため材料開発の効率化も求められています。 例えば、材料開発時に使用された素材や反応時間、そして温度、ヒステリシスのような要因によっても左右されるかもしれません。 この条件全てに対して実験計画法を導入し、実際に実験、測定をしたうえで最適な条件を発見することは理想ですが、 それはコスト面や時間的観点から現実的ではありません。 そこで、 いくつかの実験条件（例えば、説明変数X1、X2、X3、X4、、、）とそれぞれの特性値（例えば、目的変数Y1、Y2）を記した少量のデータセットを使用して機械学習を実施いたしました。 今回の事例では、機械学習モデルの作成、予測精度の改善まで実現する事が「簡単に機械学習を行うこと」できました。 ※詳しくはお問い合わせください。

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeAxleの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の解析が出来ず、油のかかっている場所がわかる程度だというご相談も頂いております。 弊社ではTier1のお客様などから実際に受託作業を請け負い、ソフトウェア販売だけで得られないノウハウを得ております。 開発元のモーター油冷に関するSAE発表論文 https://saemobilus.sae.org/content/2020-01-0168/

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のE-Axleの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の解析が出来ず、油のかかっている場所がわかる程度だというご相談も頂いております。 弊社ではTier1のお客様などから実際に受託作業を請け負い、ソフトウェア販売だけで得られないノウハウを得ております。 開発元のモーター油冷に関するSAE発表論文 https://saemobilus.sae.org/content/2020-01-0168/

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のイーアクスルの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の解析が出来ず、油のかかっている場所がわかる程度だというご相談も頂いております。 弊社ではTier1のお客様などから実際に受託作業を請け負い、ソフトウェア販売だけで得られないノウハウを得ております。 開発元のモーター油冷に関するSAE発表論文 https://saemobilus.sae.org/content/2020-01-0168/

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeアクスルの油冷解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の解析が出来ず、油のかかっている場所がわかる程度だというご相談も頂いております。 弊社ではTier1のお客様などから実際に受託作業を請け負い、ソフトウェア販売だけで得られないノウハウを得ております。 開発元のモーター油冷に関するSAE発表論文 https://saemobilus.sae.org/content/2020-01-0168/

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeAxleの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の解析が出来ず、油のかかっている場所がわかる程度だというご相談も頂いております。 弊社ではTier1のお客様などから実際に受託作業を請け負い、ソフトウェア販売だけで得られないノウハウを得ております。 開発元のモーター油冷に関するSAE発表論文 https://saemobilus.sae.org/content/2020-01-0168/

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のE-Axleの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の解析が出来ず、油のかかっている場所がわかる程度だというご相談も頂いております。 弊社ではTier1のお客様などから実際に受託作業を請け負い、ソフトウェア販売だけで得られないノウハウを得ております。 開発元のモーター油冷に関するSAE発表論文 https://saemobilus.sae.org/content/2020-01-0168/

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のイーアクスルの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の解析が出来ず、油のかかっている場所がわかる程度だというご相談も頂いております。 弊社ではTier1のお客様などから実際に受託作業を請け負い、ソフトウェア販売だけで得られないノウハウを得ております。 開発元のモーター油冷に関するSAE発表論文 https://saemobilus.sae.org/content/2020-01-0168/

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeアクスルの冷却解析の案件が増えており、他のCFDソフトでVOF法を解くと、 ・解析時間がかかりすぎる ・細かい計算メッシュを切るのが厳しい ・発散してしまい収束しない というご相談が寄せられています。 また、粒子法で解析をしても、正確な熱の解析が出来ず、油のかかっている場所がわかる程度だというご相談も頂いております。 弊社ではTier1のお客様などから実際に受託作業を請け負い、ソフトウェア販売だけで得られないノウハウを得ております。 開発元のモーター油冷に関するSAE発表論文 https://saemobilus.sae.org/content/2020-01-0168/

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」のシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※受託解析も行っておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

シャワーヘッド型CVD装置内のガス流れのシミュレーション解析 はじめ様々なシミュレーションに対応 【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ※受託解析もしておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。

『Particle-PLUS』は、プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・ 製造に適したシミュレーションソフトウェアです。 軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを 行う必要なく、 高速に結果を得ることが可能。 2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます。 【特長】 ■低圧プラズマ解析が得意 ■軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体の 　シミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることが可能 ■流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションが得意 ■2D(2次元)、3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析可能 ■自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせたカスタマイズも可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト ウェア「Particle-PLUS」は基板上に微小溝(マイクロトレンチ)が あるような場合でもマグネトロンスパッタリングの解析ができます。 「Particle-PLUS」は微小溝を含む基盤へのスパッタリング装置全体についてのマクロスケールと微小溝の部分に関するミクロスケールの両方を計算し、成膜プロセスをシミュレーションすることが可能です！ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

株式会社ウェーブフロントが自社開発した、粒子法プラズマ解析ソフト ウェア『Particle-PLUS』は基盤とターゲットが平衡でないような装置の 場合の同時マグネトロンスパッタリングでも解析が可能です。 カットセル作成機能により正確な形状と法線方向を考慮しながら、 直交格子の特長である高精度な電場計算を行うことができます。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。