【仕様】 ■ラインアップ：MWBaby、MWBaby+、MW3 ■描画分解能 ・MWBaby:1μm ・MWBaby+：1μm and 5μm ・MW3：0.6μm、1μm、2μm、5μm ■描画範囲 ・MWBaby:149×149mm ・MWBaby+:149×149mm ・MW3:195×195mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【カタログ掲載ラインアップ】 ・CoreAFM ・NaioAFM/STM ・FlexAFM(FlexBio/FPM/ANA) ・LensAFM ・Custom solution ・AFSEM ・PRS ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

【仕様】 ○スキャンエリア：100×100μm（クローズドループ） ○サンプルステージ ・モータ駆動：最大移動幅　X＝60mm、Y=15mm、Z=6mm （AFMヘッド側　X=30mm、Y=3mm、Z=4mm） ○ノイズレベル：＜0.2nm　RMS（1.5 - 150Hz） ○光学顕微鏡 ・水平分解能0.8μｍ、視野角0.7mm ・長作動距離対物レンズ（WD＝20mm） ○CCDカメラ：5Mpix　ハイスピード・デジタルイメージング ○励起波長 ・可視、赤外およびテラヘルツまで（400nm～200µm） ※専用ブロードバンド光源により中赤外領域のナノスペクトロスコピー可能 ●詳しくはお問い合わせください。

【表面検査】 ◆原子間力走査型電子顕微鏡（AFM&SEM in situ測定） by Quantum Design North America ◇原子間力顕微鏡（AFM） by Nanosurf ◆散乱型近接場光赤外顕微鏡（Nano-FTIR） by attocube ◇ワンショット3D測定装置 by Lyncee tec 【半導体プロセス向け】 ◆マスクレス露光装置 by DMO ◇レジスト by Allresist 【精密位置制御】 ◆電動リニアステージ・ロータリステージ・電動リニアアクチュエータ等 by ZABER