ヤシマの会社概要

大面積へのスパッタが可能！冷却なしでもフィルムへの成膜ができます

当社で取り扱う「真空成膜装置」についてご紹介いたします。 対向する円筒状の磁石にあって、磁気モーメントが保存されることにより 磁場に平行成分の運動エネルギー+磁場に垂直成分の運動エネルギー＝一定となることから、 荷電粒子は磁石の両端で跳ね返され両端の磁石の間に高密度プラズマが閉じ込められます。 これにより閉じ込められたプラズマによる高真空下でのスパッタが可能となります。 【特長】 ■低温成膜 ■高真空スパッタ ■独自のスパッタ技術(膜の組成制御・均一なプラズマ) ■独自のマグネトロンカソード ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。