■案内 ・エアスライド ・リニアガイド ・クロスローラーガイド ・すべり機構 ■軸方向　X, Y, Z, θ, ΔZ ■動力 ・リニアモータ ・超音波モータ ・ピエゾ ・ステッピングモータ＆ボールねじ ・サーボモータ＆ボールねじ ■位置検出器 ・ロータリーエンコーダ ・ リニアスケール ・二次元エンコーダ ・レーザ干渉計

◆非接触＆超精密加工で高い真直度・位置決め／繰り返し精度を実現！ 非接触のエアスライドを使用することでダストが発生することもなく、メンテナンスフリーでご使用いただけます。 また、超高精度に製作されたファインセラミックス製のガイドを使用し、精密恒温環境で組立・調整を行うことで、ナノメートルオーダーの位置決め／繰り返し精度と極めて高い運動精度を実現しています（※）。 （※）位置決め精度／繰り返し精度はステージの構成やご使用環境によります。ご希望の精度を実現するためのご提案を行いますので、まずはお気軽にご相談ください。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【保有設備(抜粋)】 ■高精度 CNC 三次元測定機 ■3D CNC 画像測定機 ■レーザ計測システム ■工具顕微鏡 ■面粗さ測定機 ■測定顕微鏡 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【保有設備(抜粋)】 ■高精度 CNC 三次元測定機 ■3D CNC 画像測定機 ■レーザ計測システム ■工具顕微鏡 ■面粗さ測定機 ■測定顕微鏡 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。