仕様 ホルダー保存用マニホールド　６ヶ 到達圧力　×10-8Torr 排気系　ターボ分子ポンプ(200L／sec　50Hz　N2) ロータリーポンプ(165L／min) ゲート弁、補助弁 電離真空計、ピラニー真空計、ガス導入バルブ、ベンディングデバイス付

【製品仕様】 静電変更型電子銃蒸発源 電子銃容量　20W フィラメント電流：DC10A エミッション電流：max50mA シュラウド水冷用(2L／min) 蒸着材寸法　φ1mm×50mm Ｚ軸可動範囲　６インチ 取付フランジＩＣＦ７０ シャッター機構付(手動式) シャッター孔径　φ7 ※詳細はお問い合わせ下さい。

【特長】 ■簡易的なガス定量分析に最適 ■簡単操作で高信頼性 ■コンパクトでエコノミー ■特許申請中 ※詳細はお問い合わせ下さい。

大気圧～５×１０-2Ｐａまでの広い範囲を再現よく測定することができ、「センサ＋制御回路」一体化により低コスト・省スペースを実現。また、真空生産装置の自動化や真空試験装置の操作の簡略化、データ収集をより簡単に行えるよう通信機能を充実しました。 【特徴】 ○広範囲圧力測定：大気圧～５×１０-2Ｐａまで測定可能 ○高精度：デジタル回路により温度補正機能を格段に向上させ高精度を実現。 ○軽量・コンパクト：デジタル回路と独自のフィラメント構造により軽量・コンパクト化を実現。 ○圧力信号：圧力に比例するＤＣ０～１０Ｖを出力し、ｌｏｇリニア出力で数式による圧力換算が可能。 　 ＲＳ－４８５デジタル通信を標準装備し、自動化に最適。 ○電源電圧：トランスデューサＴＲＰ－１０はＤＣ１２～３０Ｖの電源電圧で駆動し、 　 電源表示器ＴＲ－１ＤＢはＡＣ１００～２４０Ｖの範囲で使用可能。 ○トランスデューサ：「センサ制御回路」一体化により電源表示器なしでの使用ができ、 　 低コスト・省スペースを実現。 ○真空スイッチ機能：ＴＲＰ－１０ＳＰはセットポイント２点を装備し、真空スイッチとして使用可能。（オプション）

多機能型トランスデューサ用電源表示器とピラニ真空計トランスデューサ。ニーズに応えるラインアップ群です。 【特徴】 ○広範囲圧力測定：大気圧～５×１０-2Ｐａまで測定可能 ○電源電圧：トランスデューサＴＲＰ－１０はＤＣ１２～３０Ｖの電源電圧で駆動し、 　 電源表示器ＴＲ－１ＤＡはＡＣ１００～２４０Ｖの範囲で使用可能。 ○多チャンネル：３点測定可能 ○アナログ出力：３点独立出力 ○コンパクト：サイズＤＩＮ９６×９６ｍｍ ○圧力信号：圧力に比例するＤＣ０～１０Ｖを出力し、ｌｏｇリニア出力で数式による圧力換算が可能。 　 ＲＳ－４８５デジタル通信を標準装備し、自動化に最適。 ○トランスデューサ：「センサ制御回路」一体化により電源表示器なしでの使用ができ、 　 低コスト・省スペースを実現。 ○真空スイッチ機能：ＴＲＰ－１０ＳＰはセットポイント２点を装備し、真空スイッチとして使用可能。（オプション） ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

ニーズに応えるラインアップ群です。 【特徴】 ○フランジはＪＩＳＢ２２９０規格を採用。 ○本体材質はステンレスを使用。 ○Ｏリング材質はフッ素ゴムを使用。 ○ステンレス製で低価格を実現。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

技術と粋を集めた自信作です。 【特徴】 ○フランジはＪＩＳＢ２２９０規格を採用。 ○本体材質はステンレスを使用。 ○Ｏリング材質はフッ素ゴムを使用。 ○ステンレス製で低価格を実現。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

短時間で酸素・水分を除去し、最適な作業環境を創出。 【特徴】 ＜グローブボックス＞ ○コンパクト＆エコノミータイプ ○真空型／ガス置換型対応 ○複数グローブ型／対面作業型対応 ○自動調圧機能により、グローブ作業が容易 ＜ガス循環精製装置＞ ○コンパクト＆エコノミータイプ ○短時間でガス精製可能（水分、酸素） ○貴金属触媒とＮｉ触媒の選択が可能 ○製造装置に対応し、連続使用が可能（ダブルカラム型） ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

先進技術の粋を凝縮した抜群の性能と高機能 【特徴】 ○表示分解能：６　１／２桁（従来の約２桁向上） ○高速データ通信、自動零補正が標準で可能 ○精度：０．１％Ｒ ○容積が従来の１／２以下 ○パルス信号伝送のためノイズ耐性圧倒的向上 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

真空機器に容易に接続できる高性能の高真空排気装置 【特徴】 ○ＡＣ１００Ｖで使用可能。 ○安全回路により油回転ポンプと油拡散ポンプを保護。 ○油拡散ポンプとコールドトラップにて高真空領域まで排気。 ○空冷式、水冷式よりお選びいただけます。 ○主弁フランジ上向き仕様製可能（オプション） ○オプションで各種真空計を準備。 ○ターボ分子ポンプ仕様のDS-Tシリーズもございます。 ○ＤＳ－６１２Ｚ（水冷）も製作可能です。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

人と地球に優しい、環境対応設計。ＤＰＡシリーズ 【特徴】 ○業界初！鉛フリーハンダを採用 　　冷却水用パイプの固定ハンダを鉛フリーハンダに ○消費電力を４割カット ○作動油量を２割カット ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

信頼性・耐久性・安全性に優れたＧＨＰシリーズは、幅広い分野で最大の威力を発揮します。 【特徴】 ○低騒音・低振動 ○オイル逆流防止機構付 ○ガスバラストバルブ付 ○小型軽量 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

多様なニーズに応えるよう機能を付加した真空計 【特徴】 ○ピラニ真空計　ＰＴ－３ＤＡ 　　低温度型ピラニ真空計で、広範囲の圧力をケーブル長さに関係なく正確に、 　　しかも簡単に測定することができます。 ○コールドカソード真空計　ＣＴ－３ＤＡ 　　逆マグネトロンタイプの測定子を採用した冷陰極電離真空計です。 ○電離真空計　ＩＴ－３ＤＡ 　　最新のＩＴ技術採用により、ユーザーの様々なニーズに対応できる多機能で 　　高精度測定が可能な熱陰極電離真空計です。 ○コンビネーション真空計　ＰＣ－３ＤＡ 　　冷陰極電離真空計／１チャンネルとピラニ真空計／２チャンネルを同時接続測定が 　　可能なコンビネーション真空計です。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

本装置は真空および不活性ガス雰囲気に於いて、種々形状の対象試料をヒーターによって均一に加熱し各種熱処理を行うと共に油圧プレスによる ２ＴＯＮまでの加圧処理を可能にした多目的実験炉です。　 【特徴】 ■多機能整備の熱処理が可能 ■プレスユニットによる圧力能力の自由設定が可能 ■雰囲気の万能性で高真空および不活性ガスに使用可能 ■金属ヒーター、反射板を使用した構造で昇温が早い ■有効容積が大きい ■節電タイプ ■安全回路設計　など 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

1939年、真空機器の専業メーカとしてうまれ、以来真空一筋にユーザーの皆様と共に歩んでまいりました。 半世紀を超える歴史の中で培われた技術と豊富な経験に基づく、アトーテック社の真空機器は多岐にわたる用途にご活用いただけるものと確信しています。 【特徴】 各種製品を取り扱っております。 ○クランプバルブ 　自動リークバルブ・手動バルブ・空気作動バルブ・三方バルブ ○クランプ継手部品 　クランプ・クランプフランジ・センターリング・Oリング・ブランクフランジ 　レジューサ・エルボ・ティ管・フレキシブルチューブ ○真空部品 　リークバルブ（LEV）・ガスバルブ（GV）・ベローズガスバルブ（GVB-6A） 　計器口（φ15G・P）・ハーメチックシール口 　断水リレー（SPS-8）・ブルドンゲージ 　ゴムホース・VSホース 　グリース ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

ピラニ真空計とコールドカソード真空計を1つに集約。広領域測定を可能にします。 【特徴】 ○広範囲測定：５×１０-7～５×１０+5Ｐａ ○メンテナンス性の向上 ○タイムリーに測定値を表示したい環境には、ＴＲ－２ＤＢ（別売）に接続することで、 　 簡単にモニタリングができます。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。

アトーテック株式会社は、金属材料工学と真空工学を基盤技術とし、 真空ポンプをはじめ、ナノ粒子（超微粒子）製造装置、真空バルブ、 真空計、真空部品の取り扱い、真空装置の設計製作を行っている会社です。 これまで様々な真空装置やナノ材料創製装置等の開発、製造にたずさわり、 特に真空熱処理装置は多くの納入実績がございます。 また超微粒子製造装置は、材質材料研究機構との共同特許を取得致しました。 当社ではこれからも真空装置のトータルプランナーとして、 お客様の立場になって製品を作り、より良いサービスをご提供していきます。 【事業内容】 ■各種真空ポンプ、真空部品、真空バルブ、真空計等の販売 ■各種真空装置、電気炉、理化学機器の設計製造販売 ■カーボン、モリブデン、タンタル、タングステン加工品の製造販売 ■真空装置、部品の輸出入 ■各種真空装置、ポンプ類のメンテナンス ■上記各号に付帯する一切の業務 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『破面蒸着保護膜形成装置』は、各種金属、合金材料などを極高真空中 （X10-9Pa）で低温（～100K）にして機械的衝撃により破断させた後直ぐに 破面にNi等の真空蒸着を行う為に開発された装置です。 これに、材料の脆性破壊で生じた破面をそのまま保護することが出来るため 3次元アトムプロープ観察等による破面の各種分析を行う事ができます。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【構成】 ■メインチャンバー ■試料交換室 ■真空排気系 ■極高真空計 ■Kセルタイプ蒸発源 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

本装置は、前進的な試料作りを目的とし清浄高真空中で電子ビームにより 特にMg合金を初めとする全ての金属に適した蒸着装置として開発された装置です。 真空排気系はTMP80L/secとRP50L/minの組合わせで、全て電磁バルブを使用した 全自動排気系。到達圧力は液体窒素トラップ無しで10-5Paに入ります。 この他、電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置「マグネトロン スパッター装置」や、薄膜作成準備、表面分析の実験研究用として利用される 「3KV イオン銃(SIG030)」などをご用意しております。 【特長】 ■真空排気系はTMP80L/secとRP50L/minの組合わせで、 　全て電磁バルブを使用した全自動排気系 ■到達圧力は液体窒素トラップ無しで10-5Paに入る ■メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『プレス付真空熱処理装置』は、真空及び不活性ガス雰囲気において、 さまざまな形状の試料をヒーターによって均一に加熱する真空装置です。 真空の状態でプレスを行うことで、通常の状態でプレス加工するのとは 違った処理をすることが可能。 また、サーボプレスにより50KNまで加圧ができ、拡散接合にも好適な 「真空ホットプレス装置」もご用意しております。 【特長】 ■さまざまな熱処理が可能 ■プレスユニットの圧縮能力については任意の設定することができ、 　自由な実験を行うことができる ■0.3Kg3/cm2の圧力雰囲気処理も可能 ■高真空で使用できるだけではなく、複数の不活性ガスでも使用可能 ■金属ヒーターと反射板を使用した構造を採用 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

アトーテックで取り扱う『水素炉』をご紹介します。 有効加熱部が110×50×1000の「NFU-115H」をはじめ、炉芯管断面が 160巾×100高の「NFU-1610H」などをラインアップ。 記録計、温度調節計、露点計等はオプションにより変更または新規取付でき ベルト材質、ベルト送りスピードも変更希望の場合には変更可能です。 【ラインアップ】 ■NFU-115H ■NFU-1610H ■NFU-2112H ■NFU-2115H ■NFU-2718H ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当社で取り扱う各種真空装置をご紹介いたします。 電子顕微鏡関連では「電子顕微鏡試料ホルダー保存装置」や「UHV電子顕微鏡用 静電偏向型電子銃」をラインアップ。 また、簡易的なガス定量分析に好適な「ガス量測定装置」もご用意しております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【電子顕微鏡試料ホルダー保存装置 仕様】 ■ホルダー保存用マニホールド：6ヶ ■到達圧力：×10^-8Torr ■排気系：ターボ分子ポンプ（200L／sec　50Hz　N2） ■ロータリーポンプ（165L／min） ■ゲート弁、補助弁 ■電離真空計、ピラニー真空計、ガス導入バルブ、ベンディングデバイス付 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当記事では、薄膜の厚みを調整することができる超音速フリージェットPVDの 開発と製造をアトーテックに発注いただいた、芝浦工業大学様のインタビューを ご紹介しております。 装置を使いながら実用化の方向を探る同大学教授に当社の評価をお聞きし、 「アトーテックとはどんなお付き合いをなさっていますか？」をはじめ 「超音速フリージェットPVDはどんな装置なのですか？」、「お付き合いの中で 印象深いエピソードがあれば教えてください」等の質問にご回答いただきました。 ぜひ、ご一読ください。 【インタビュー内容（一部抜粋）】 ■アトーテックとはどんなお付き合いをなさっていますか？ ■超音速フリージェットPVDはどんな装置なのですか？ ■どのような形でお付き合いが始まったのですか？ ■アトーテックの仕事をどう評価していますか？ ■お付き合いの中で、印象深いエピソードがあれば教えてください ※インタビューの詳細内容は、関連リンクより閲覧いただけます。 　詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

アトーテックでは、20年以上お使いの真空装置のリニューアルアドバイスを 受け付けております。 「到達真空度が上がらない」「排気時間が長い」「均熱が出ない」という 課題は、真空ポンプの取り換え、オーバーホールで改善することが可能。 また、真空装置のオーバーホール、ヘリウムガスのリークテスト・ リークチェックも行います。 まずは、装置の状態をお電話にてご相談ください。 【こんなお困りごとに】 ■到達真空度が上がらない ■排気時間が長い ■均熱が出ない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。