半導体配管の最適化重要アイテム、ジャケットヒーターシステムです。 配管内の副生成物付着防止・供給ガスのヒーティングや 排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管の加熱用ヒーター 【特長】 ・200℃までの高温まで加熱可能 ・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは高安全性で丈夫 ・コールドスポットがなく、温度均一性に優れます ・半導体装置用のクリーンルーム用途を目的とした低発塵性タイプを用意 ・フレキシブルで脱着性、フィット感がよい ・CEマーク、UL認定有り 【専用の温調 & モニターシステム 】 ・通信機能で各ジャケットヒーターの温度制御とモニターします ・各ジャケット毎のPID制御でさらに温度均一性を高めます ・異常箇所はすぐ認知 ・１台でジャケットヒーター40ヶ分をモニター可能 ・コンパクトで場所をとりません ・温度制御線、電源供給線、モニター費を低減します ■導入メリット ・ダウンタイムの削減 ・洗浄費用を低減 ・機器への接触事故を防止 ・副生成物の飛散を抑え、作業環境を改善