断熱リングの製品一覧｜東京興業貿易商会

拡散炉・CVD炉用高温断熱材『断熱リング』

拡散炉・CVD炉用！酸化ホウ素を含有しないアルミナ長繊維を使用した特許製品です

『断熱リング』は、半導体製造工程で使用される拡散炉・CVD炉用高温断熱材です。外被材及び縫糸は高耐熱性アルミナ長繊維を使用し、長寿命。外被材組成は Al2O3 72%、SiO2 28%からなり、繊維径は7μmφと細く柔軟性に優れています。ニチビにしかない高グレード品として、さらに低不純物素材を使用した先端ニーズ品があります。【特長】 ■外被材及び縫糸は高耐熱性アルミナ長繊維を使用し、長寿命 ■酸化ホウ素を含有しないアルミナ長繊維を使用した特許製品 ■石英チューブや炭化ケイ素チューブの形状に合わせて縫製加工する ■低不純物素材を使用した先端ニーズ品がある ■外被材組成はAl2O3 72%、SiO2 28%からなり、繊維径は7μmφと　細く柔軟性に優れている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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