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stage×ウイング - メーカー・企業と製品の一覧

stageの製品一覧

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Gantry fixed-type stage (stone base)

Gantry fixed-type stage (stone base)

Gantry fixed-type stage (stone base)

X-axis stage on a stone base plate Linear motor stage mounted on a gantry frame with a Y-axis stage 【Features】 ○ Achieves high precision by separating the XY axes ○ Equipped with a suction table compatible with 650mm square size workpieces ○ Optimal for various processes of large substrates ○ Adopts parallel drive on the Y-axis Achieves constant velocity of less than 1% and enables reading at low speeds ○ Adopts multi-carrier drive on the X-axis Allows for a dual-head configuration, easily increasing throughput ● For other functions and details, please download the catalog.

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Gantry Moving Stage G5

Gantry Moving Stage G5

Gantry-type moving stage G5

Gantry-type linear motor stage adopting a square pipe welded structure 【Features】 ○ The gantry axis is equipped with a two-axis stage, allowing for the installation of a workpiece receiving section and conveyor in between. The configuration of a camera head axis and a transmitted lighting axis can be easily realized, making it ideal for inspection devices. ○ Achieves lightweight design. ○ Adopts multi-carrier drive on the X-axis, enabling a dual-head configuration and easily increasing throughput. ● For other functions and details, please download the catalog.

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High-precision linear stage air slide stage

High-precision linear stage air slide stage

Ideal for the process of 300mm size work!

Air slide stage that enables high speed stability and ultra-high precision positioning through the adoption of linear motor drive and air guide. 【Features】 ○ The work mounting table is supported by a granite base via air bearings, ensuring high movement parallelism and rigidity. ○ Both movable and drive parts are non-contact, contributing to dust prevention and noise reduction, making it suitable for use in clean rooms. ○ A full-floating method is adopted for the movable parts, allowing for high rigidity specifications and ultra-high precision finishing. ● For other functions and details, please download the catalog.

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High-precision linear stage vertical 5-axis stage

High-precision linear stage vertical 5-axis stage

High-precision linear stage vertical 5-axis stage

Optimal 5-axis stage for vertical exposure devices 【Features】 ○ A multi-axis stage equipped with Z-axis, θ-axis, and tilting functions in addition to the XY axes ○ Equipped with functions necessary for mask alignment ○ Designed for vertical placement, enabling particle-free operation ○ Can be used in a space-saving manner ● For other functions and details, please download the catalog.

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High-precision linear stage, transmissive stage

High-precision linear stage, transmissive stage

High-precision linear stage, transmissive stage

XY axis stage with a cut-out type that enables simultaneous inspection of both sides of the workpiece. 【Features】 ○ The stage is constructed as a single unit with a pipe-structured frame. ○ Ample space is secured on the backside. ○ High rigidity at a low cost. ○ Weight reduction is possible. ● For other functions and details, please download the catalog.

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Gantry-type 4-axis stage

Gantry-type 4-axis stage

Gantry-type 4-axis stage

XY-axis stage driven by a linear motor on a stone base plate, equipped with a Z-axis unit driven by a ball screw on a gantry frame, forming a compact XYZ stage. 【Features】 ○ The Z-axis can accommodate imaging equipment such as microscopes, making it ideal for inspection processes up to 300mm in size. ○ Compared to a standard 4-axis unit, the height of the high-precision X-Y-θ axes can be kept low through linear drive, resulting in no table shake and excellent uniformity even during high-speed movement. ● For other functions and details, please download the catalog.

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Thin XY axis stage (granite base)

Thin XY axis stage (granite base)

Thin XY axis stage (granite base)

A thin XY-axis stage that achieves high speed stability and high precision positioning by adopting a low center of gravity structure, while being a linear guide. 【Features】 ○ By adopting parallel drive for the X and Y axes, the height of the upper table can be kept low, preventing overall device vibration during high-speed operation and improving accuracy. ● For other functions and details, please download the catalog.

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