【仕様】 ■最低到達温度：4.2K以下 ■冷却方式：液体ヘリウム（オプションユニットで液体窒素使用可能） ■温度コントロール範囲：4.2K～300K ■温度コントロール精度：設定温度に対して±0.1K以内 ■冷却時間：最低到達温度まで約40分 ■サンプル交換方式：真空ブロー後、上部蓋を開けサンプル交換 ■付属品：専用LHeトランスファーチューブ ■温度コントローラー・温度センサー 　（当装置には別途、高真空排気装置が必要です） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• 製造受託

【仕様】 ■保障最低到達温度：15K以下（実績4.5K） ■冷却方式：液体ヘリウム（オプションユニットで液体窒素使用可能） ■温度コントロール範囲：15K～300K ■温度コントロール精度：設定温度に対して±0.1K以内 ■冷却時間：最低到達温度まで約60分 　（高倍率で長時間の定点温度測定の場合、状態が安定するまで時間がかかる場合があります） ■付属品 　・専用3重管式LHeトランスファーチューブ 　・温度コントローラー・温度センサー 　・ガスハンドリングシステム・ダイアフラムポンプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• 製造受託

【仕様】 ■最低到達温度：15K以下 ■冷却方式：2段式GM冷凍機 ■温度コントロール範囲：15K～300K ■温度コントロール精度：設定温度に対して±0.15K以内 ■冷却時間：20Kまで約2時間（VSM用は約3.5時間） ■サンプル交換方式：トップローディング ■付属品：自動GHe加圧装置,温度コントローラー・温度センサー 　（当装置には別途、高真空排気装置が必要です） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• 製造受託

【仕様】 ■最低到達温度：80K以下 ■冷却方式：液体窒素リザーバー型 ■温度コントロール範囲：80K～450K ■温度コントロール精度：設定温度に対して±0.1K以内 ■冷却時間：最低到達温度まで約30分 ■サンプル交換方式：真空ブロー後、下部テール部を取り外し、交換 ■付属品：温度コントローラー・温度センサー ■オプション：LED式液体窒素液面計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• 製造受託

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器
• 製造受託

■MBE装置 ■大型高真空分光装置 ■高真空紫外装置 ■超高真空仕様蒸着装置 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 真空機器

【特徴】 ■汎用ガスラインに最適 ■メーカー：ブルックスインスツルメント株式会社 ■仕様：精度±1% F.S.　応答性3秒以内(F.S.±2%到達) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　30mL/min〜30L/minでご注文時にご指定 　フルスケールが10〜100L/min対応モデルの5851Em 　100〜1,000L/min対応モデルの5853Eもラインナップ ■最高圧力：10MPa ■本体材質：SUS316L、バイトン ■継手サイズ 　サイズ：1/8、1/4、タイプ：SWL、VCRタイプ ■入出力信号：0〜5VDC □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 流量制御

【特徴】 ■最大供給圧力　0.876MPa ■露点　-73℃ ■CO2含有　1mmp以下 ■納期：1.5ヶ月 ■使用するガスの種類、必要な純度や流量、1日の操業時間により 　ご希望のパージガス発生装置を製作いたします。 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• ガス発生装置

【特徴】 ■構造が単純で破損箇所が少ない ■排気量 37/40L/min(50/60Hz) ■到達圧力： -680mmHg ■電源： AC100 or 200V ■出力： 200W ■寸法：W140xD202xH192 ■重量： 6.5kg ■吸排気口：Rc1/4(オプションでご希望に変換可能) ■その他排気量、77/90L/minタイプ、95/105L/minタイプもご用意 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他ポンプ

【特徴】 ■混合方式：流量比混合方式 ■流量範囲：10ML/min〜20L/min ■適応ガス：Air,N2,O2,He,Ar,CO2 ■精度：FS±2% ■使用温度範囲：4〜40℃ ■接続口：Rc1/4” ■寸法：150(W)x300(D)x240(H)mm □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• ガス発生装置

【特徴】 ■流体名 :　Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2 ■流量レンジ：0.5〜5ML/minから3〜30L/min ■精度：FS ±2%（計測ポイント） ■耐圧 　・100ML/min以下　1.0Mpa 　・5L/min以下　0.7Mpa 　・10L/min以下　0.5Mpa ■接続口：Rc1/4” ■環境温度：Max60℃ □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 流量計

【特徴】 ■メーカー：日酸TANAKA株式会社 ■仕様 　・入口ボンベ直結(20.9-14-左メスナット) 　・出口ニードル弁+1/4インチストレートパイプ 　・一次側圧力計　25MPa 　・二次側圧力計　1.5MPa(最高使用圧0.99MPa迄) □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他理化学機器

【特徴】 ■メーカー：日立金属株式会社 ■仕様：精度±0.5%　応答性1.5秒以内(設定値の±2%,0.7〜1.2秒 typ) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　10SCCM〜30SLMでご注文時にご指定 ■本体材質：SUS316L、内面特殊電解研磨仕様 ■継手サイズ：1/4UJRタイプ、各社IGS対応可能 ■ラバーシール、電解研磨レスのSFC1480FRC/ROもご用意 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 流量制御

【特徴】 ■メーカー：日酸TANAKA株式会社 ■仕様 　・入口ボンベ直結(22-14-右メスナット) 　・出口ニードル弁+1/4インチストレートパイプ 　・一次側圧力計　25MPa 　・二次側圧力計　1.5MPa(最高使用圧0.99MPa迄) □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他理化学機器

【特徴】 ■メーカー：日酸TANAKA株式会社 ■仕様 　・入口ボンベ直結(22-14-左メスナット) 　・出口ニードル弁+1/4インチストレートパイプ 　・一次側圧力計　25MPa 　・二次側圧力計　1.5MPa(最高使用圧0.99MPa迄) □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他理化学機器

【特徴】 ■メーカー：ヒヨシ機械産業株式会社(旧株式会社小野製作所)製 ■仕様：精度フルスケール±2% ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲 　フルスケール　1L/min〜50L/minでご注文時にご指定 　（ガス種により範囲が狭まる場合あり） ■本体材質：SUS、バイトン ■継手サイズ：Rc1/4(PT1/4"メスネジ) □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 流量計

【特徴】 ■メーカー：ヒヨシ機械産業社製 ■仕様：精度フルスケール±2% ■ガス種　：ご注文時に指定 ■流量範囲 　フルスケール　50cc/min〜500cc/minでご注文時に指定 　（ガス種により範囲が狭まる場合あり） ■本体材質：SUS、バイトン ■継手サイズ：Rc1/4(PT1/4"メスネジ) □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 流量計

【特徴】 ■メーカー：日酸TANAKA株式会社 ■仕様 　・入口ボンベ直結(22-14-右) 　・出口ニードル弁付き(1/4インチストレート、ホース継手付き) 　・一次側圧力計　25MPa 　・二次側圧力計　0.3MPa(最高使用圧0.2MPa迄) 　・メタルダイアフラムタイプ □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他理化学機器

【特徴】 ■メーカー：日立金属株式会社 ■型番：SFC280ERC ■仕様：精度±2%　応答性3秒以内(F.S.±2%到達) ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール　10SCCM〜5SLMでご注文時にご指定 ■本体材質：SUS316L、バイトン ■継手サイズ：サイズ：1/8、1/4 ■タイプ：SWL、UJRタイプ ■5SLM〜20SLMの中流量対応のSFC281RCシリーズもご用意 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 流量制御

ボンベと圧力調整器とを接続する際に、口径が合わない場合があります。 特に海外製のボンベと国産の圧力調整器との接続は、難しい場合があります。 圧力調整器メーカでは海外ボンベ対応の入口継ぎ手を用意していない場合が多いようです。 変換継手で困った場合は是非お問い合わせ下さい。 お問い合わせいただく場合は、以下の条件をお知らせ下さい。 ■何と何を変換したいのか ■ボンベと圧力調整器なのか、圧力調整器と連結管なのか。 ■お持ちのボンベの口径と、変換したい相手の口径 　アメリカ製のボンベはCGAで始まる場合が多いようです。 ■オスとメスを確認して下さい 　どちらがオスかメスか間違うと、絶対に繋がりません。 　可能であれば写真を撮っていただくか、スケッチしてFAXして下さい。 ■材質の指定があればお知らせ下さい 　ステンレス、真鍮、モネル、ハステロイは対応可能です。 ■パッキンの要、不要 　パッキンが一緒に必要であれば、お引き合いのときにお申し付け下さい。 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• バルブ

【特徴】 ■メーカー：日酸TANAKA株式会社 ■仕様 　・入口　NPT1/4"メネジ 　・出口　NPT1/4"メネジ 　・一次側圧力計　25MPa 　・二次側圧力計　TORR1300-4S-B503-4NF4NF　0.3MPa(最高使用圧0.2MPa迄) 　・二次側圧力計　TORR1300-4S-B506-4NF4NF　0.6MPa(最高使用圧0.4MPa迄) 　・二次側圧力計　TORR1300-4S-B515-4NF4NF　1.5MPa(最高使用圧1.0MPa迄) 　・メタルダイアフラムタイプ □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他理化学機器

【特徴】 ■メーカー：ブルックスインスツルメント株式会社 ■仕様：精度±0.5% F.S. ■流体名：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール範囲内で、ご注文時にご指定 ■最高圧力：10MPa　オプション40MPa ■本体材質：SUS316、バイトン ■継手サイズ：サイズ：1/8、1/4、タイプ：SWL(他お問合せ下さい) ■入出力信号：0〜5V、0〜20mA、4〜20mA 【製品一覧】 ■5881コントローラ　30〜100g/h(水相当) ■5882コントローラ　200〜1,000g/h(水相当) ■5891メータ　30〜100g/h(水相当) ■5892メータ　200〜1,000g/h(水相当) □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 流量制御

【特徴】 ■コリオリ式質量流量センサの採用により、流体の種類や 　プロセス変量(粘度、密度等)の影響を受けることなく流量を測定することが可能 ■メーカー：ブルックスインスツルメント株式会社 ■仕様：精度±0.5% Rate　オプション±0.2% Rate ■流体名：ご注文時にご指定 ■流量範囲：フルスケール範囲内で、ご注文時にご指定 ■最高圧力：3.4MPa　オプション10MPa、30MPa ■本体材質：SUS316L、バイトン、カルレッツ他 ■入出力信号：0〜5V、4〜20mA □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 流量制御

【特徴】 ■ガス供給を2系列に分け、どちらか一方の系列よりガスを供給 　片方のボンベが空になると、もう片方の系列に自動的に切り替わる ■空になったボンベを充填済みボンベに交換し 　切替ハンドルを操作するだけで連続的にガスを供給する事が可能 　さらに、ガスを供給しながらボンベを切替る事が可能 ■切替ハンドルを倒すだけで、系統が切り替わるため操作が簡単 ■入口部に小型逆止弁を内蔵 　ボンベ交換時に口金よりガスが逆流噴出することがない ■系列切替時に電磁弁等の電気を使用しないため 　水素などの可燃性ガスにも使用可能 ■豊富なオプションをご用意 　・ガスボンベの本数追加(2×2から必要に応じて) 　・圧力センサ、トランスミッタ追加 　・エアー駆動バルブ、電磁弁による自動制御 　・計装シーケンス制御 　・切替、異常等の遠方警報出力 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• その他半導体製造装置

【特徴】 ■ナログインターフェイス：0〜5V、4〜20mA ■デジタルインターフェイス：RS485(HARTベース) ■オプションでDeviceNet、FOUNDATION Fieldbusにも対応 ■メーカー：ブルックスインスツルメント株式会社 ■仕様：精度 ±1.0％R(20〜100％FS間)、±0.2％FS(20％FS以下) ■応答性：1秒以内 ■ガス種：ご注文時にご指定 ■流量範囲 　フルスケール　30mL/min〜30L/minの間でご指定 　(コープレーナバルブで30〜50L/min対応可) ■最高圧力：10MPa(オプション30MPa) ■本体材質：SUS316L、バイトン ■継手サイズ：サイズ：1/8、1/4、タイプ：SWL、VCRタイプ ■入出力信号：0〜5V、0〜20mA、4〜20mA、RS485 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 流量制御

ガスボンベを収納しガスを供給する供給設備です。ガスボンベを紐で結わいて固定することは危険きわまりまりません。また、所定の圧力・流量でガスを供給するためのマニホールドは必要不可欠です。

• 流量制御
• 圧力制御
• その他実験器具・容器

【特徴】 ■流体名：Air,N2,O2,H2,Ar,CO2 ■流量レンジ：0.5〜5ML/minから3〜30L/min ■精度：FS ±2%（計測ポイント） ■耐圧 　・100ML/min以下　1.0Mpa 　・5L/min以下　0.7Mpa 　・10L/min以下　0.5Mpa ■接続口：Rc1/4” ■環境温度：Max 60℃ □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

• 流量計