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半導体薬液移送ポンプ
サンゴバン社のFuron分配ポンプは、半導体業界で使用される多種多様なバルク液体、すなわち高純度で腐食性の高い化学物質から非常に研磨性の高いスラリーまでを輸送するために特別に設計されています。優れた構造により、予防保全が容易で、分解・再組み立ても簡単なため、比類のない稼働時間を実現します。サンゴバン社の高純度分配ポンプは、金属やエラストマーを一切使用していません。