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石定盤上にX軸ステージ 門型フレームにY軸ステージ搭載したリニヤモータステージ 【特徴】 ○XY軸を分離することにより、高精度を実現 ○650mm角サイズのワークに対応した吸着テーブルを搭載 ○大型基板の各種プロセスに最適 ○Y軸にパラレル駆動を採用 等速性1％以下が実現し低速での読み取りが可能 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
X-Yステージを搭載した 8インチ対応のマニュアルプローバ 【特徴】 ○X-Yステージを搭載 操作パネル上で早送りやジョグ送り等の簡単な遠隔操作が可能 ○測定ポイントまで素早く移動でき、操作性に優れる ○低価格、高精度、短納期を第一に考えた ユーザーニーズにマッチしたプローバ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ベースにグラナイトを採用！ 高精度位置決めが可能なセミオートプローバ 【特徴】 ○ベースにグラナイト製石定盤を採用し、駆動モーターに リニヤシャフトモーターを搭載する事により バックラッシュ『0』の実現が可能 ○リニヤスケールの精度/分解能に見合った高精度位置決めが可能 ○マニュアルローダを搭載し、ウェハの着脱が容易 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
石定盤上にリニヤモータ駆動のXY軸ステージ 門型フレームにボールネジ駆動のZ軸ユニットを搭載し コンパクトに構成されたXYZステージ 【特徴】 ○Z軸に顕微鏡などの画像処理用機器を搭載し 300mmサイズまでの検査工程に最適 ○通常の4軸ユニットに比べ 高精度が必要なX-Y-θ軸の高さをリニア駆動により 低く抑えることができ、高速での移動でも テーブルの揺れがなく等速性に優れる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ズーム顕微鏡を搭載！ 15インチ液晶カラーモニターを標準装備とした作業性重視のプローバ 【特徴】 ○作業距離が長く、作業効率が向上 ○ズームレンズ採用で位置ズレが無く観察しやすい ○電動Ｚステージを搭載 顕微鏡およびポジショナーを最大140ｍｍ退避させるため ワークの脱着が容易 ○再現性を考慮した微動位置決め構造 ○両手作業が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
300mmウェハ用に開発された ローディングシステム 【特徴】 ○操作性はもちろんの事、画像計測、オート測定機等 様々な装置とのドッキングが可能 ○BBS（Building Block System）の採用で 用途に応じてオプションを付加することにより 予算に合わせた効率的なシステム構成が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
角パイプ溶接構造を採用した ガントリー移動型リニヤモータステージ 【特徴】 ○ガントリ軸は2軸のステージを搭載しており 間にワーク受け部やコンベアを搭載 カメラ用ヘッド軸と透過照明軸という構成が 簡単に実現でき検査装置に最適 ○軽量化を実現 ○X軸にマルチキャリア駆動を採用 2ヘッド仕様が可能になりスループットが容易にアップできる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
リニヤガイドでありながら、低重心構造の採用により 高い速度安定性と高精度位置決めを実現する、薄型XY軸ステージ 【特徴】 ○パラレル駆動をX軸、Y軸に採用することにより 上面テーブルの高さを低く抑える事が出来る為 高速運転の際、装置全体の揺れを防止し、精度アップができる ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
縦型露光装置用に最適な5軸ステージ 【特徴】 ○XY軸に加え、Z軸、θ軸及び チィルティング機能を搭載した多軸ステージ ○マスクのアライメントに必要な機能を装備 ○縦型に配置するため、パーティクルフリーが可能 ○省スペースでの使用が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ワーク両面の同時検査を可能にした 中抜きタイプのXY軸ステージ 【特徴】 ○パイプ構造のフレームと一体でステージを構成 ○裏面のスペースも十分確保 ○高剛性ながら、安価 ○軽量化が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して 石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触 防塵効果や静粛化に貢献し、クリーンルーム内での使用も可能 ○可動部に全面浮上方式を採用 高剛性仕様が可能で、超高精度仕上げが可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能（オプション） ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
【イプロス初主催】AIを活用したリアル展示会！出展社募集中
