超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現
蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。 フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUI（グラフィックユーザーインターフェース）により、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。 【メリット】 ■実績と信頼性のあるサーマルマスフロー測定と制御技術を採用 ■さまざまな水供給圧にも対応 ■耐腐食処理を強化 ■クリーンな製造 ■アナログまたはデジタル通信を使用したツールインターフェース ■強化されたデータ収集またはトラブルシューティングのための ダイレクトインターフェース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
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基本情報
【特長】 ■流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気) ■優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定 ■プラント内純水供給装置に直接接続 ■最低温度（非過熱状態）でも動作可能 ■水洗および排水用に最適な設計 ■EtherCATデジタルコミュニケーション ■Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■シリコン半導体の金属エッチング後プロセス ■シリコン半導体メタルストリッププロセス ■低大気圧環境における超高清浄度加湿 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
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企業情報
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。