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管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」

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最終更新日:2025年05月08日

株式会社渡辺商行
株式会社渡辺商行
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半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対応可能な管状炉です

管状炉とは、カンタルワイヤーをコイル状に加工し、断熱材、円筒形の外枠で組み立てたもので、チューブ炉とも呼ばれ、その名の通り管(筒)状の電気炉で工業炉の中でも一角を担う存在です。 【特徴】 ■精密な温度制御や温度勾配が可能  ・炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、   精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。 ■御要望の電気炉を一台から製作可能  ・小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置(拡散炉)や工業用に使用される大口径   のものまで様々な管状炉を製作しています。 ■カンタル(高温使用できる合金)を耐熱材料や耐熱金具としても加工致します。 (※)ゾーン制御 炉内において部分的に温度を制御する事で温度精度を向上させる技術 【仕様】 ・発熱体 カンタル AF / A-1 / APM ・最高温度 発熱体 約1400℃(炉内最高 約1300℃) ※詳しくはお問い合わせください。

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管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」

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基本情報

カンタルワイヤーをコイル状に加工し、断熱材、円筒形の外枠で組み立てたものが管状炉となります。炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御(※)を行うことにより、精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置(拡散炉)や工業用に使用される大口径のものまで様々な管状炉を製作しています。 またカンタルは高温使用できる合金です。カンタルを耐熱材料や耐熱金具として使用したいという御要望にもお応えしております。 ※詳しくはお問い合わせください。

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用途/実績例

【用途】 半導体製造装置から工業・生産ライン、研究開発、温度校正(熱電対校正炉)にて使用

企業情報

株式会社渡辺商行

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電子部品・半導体

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電話番号・住所

1930年(昭和5年)に輸出入の専門商社として発足し2020年で創立90周年を迎え、渡辺商行グループの更なる発展に全力で取り組んでいるところでございます。 1960年代半ばより、半導体業界に対しケイ素(Si)関連製品を販売する方針のもと、石英加工品、シリコーンゴム成形品、洗浄装置などの自社製品を製造販売を開始いたしました。 モノづくり商社として、質の高い製品・サービスを提供することにより、IT社会の成長とともに成長してまいりました。 今後とも株式会社渡辺商行を中核とするグループ各社の社員が、毎日活き活きと働き、職場全体が学びの組織となる会社づくりを目指します。 そして、社会の真のニーズに応える強い意志を持ってこれからも日々あらゆる事業に邁進していく所存です。 今後とも益々のご支援とご愛顧を賜りますようお願い申し上げます。

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