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ナノ精度位置決めステージ標準モデル4機種 / カスタム対応可能

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HIWIN ハイウィン ナノ精度位置決めステージ ナノ精度ポジショニングステージ N2 リニアモーターステージ ナノメートル

最終更新日:2026年04月22日

ハイウィン株式会社
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ウエハ白色干渉測定、PLP検査、LDI露光機、ウエハ光学検査対応標準モデルをラインアップ

半導体製造の後工程の技術躍進が進む後工程でご活用いただける ナノ精度の位置決めリニアモーターステージです。 技術要件の厳しい半導体検査装置や半導体製造装置に。 標準機投入によりお客様の開発期間を短縮させるソリューションを提供します。 当社では自社製コンポーネントを幅広くそろえており、各部材、技術者をすべて社内で確保できるため、 他社では真似できない設計納期、生産納期を実現します。 <機械要素部品><メカトロ製品><制御技術>の 3 つの要素を備えており、 標準機だけでなくカスタム対応にも柔軟かつ迅速に対応ができます。

    その他電子部品ウエハーリニアモータ
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ナノ精度位置決めステージ標準モデル4機種 / カスタム対応可能

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  • ナノ精度位置決めステージ特設ページ
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/hiwin/product/

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基本情報

■ウエハ白色干渉測定モデル 12インチウエハ測定装置に適用。 サーボ安定性が高く、高倍率の視覚測に。 短納期対応。 ■ PLP検査 モデル エアベアリングとリニアガイドウェイのハイブリッド構造で、 高精度と高剛性を兼ね備えています。短納期対応。 ■LDI 露光機 モデル ハイグレードなエアベアリングステージ。 動的安定性と動的精度が高く、 安定して高い精度を維持できます。 ■ウエハ光学検査装置 8 インチウエハの検査やAOI装置に適用。 短納期で安定性の高い汎用ステージです。

価格情報

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納期

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用途/実績例

ウエハ測定装置、ウエハ検査、AOI検査、PLP検査、LDI露光機など

ラインアップ(4)

型番 概要
ウエハ白色干渉測定モデル
PLP検査 モデル
LDI 露光機
ウエハ光学検査装置

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ナノ精度位置決めステージ【N2】リーフレット

ナノ精度位置決めステージ【N2】リーフレット

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この製品に関するニュース(3)

【HIWIN】第11回 機械要素技術展 名古屋 出展

【2026年4/8(水)~4/10(金)】第11回 機械要素技術展 名古屋 出展のお知らせ

  • セミナー・イベント

ハイウィン株式会社は、ポートメッセなごやにて開催される 第11回 機械要素技術展 名古屋 に出展いたします。 当社ブースでは、リニアガイドウェイやボールねじなどの 機械要素部品に加え、各種モーター、精密ステージの他、産業用ロボットを組合せた 実働デモを展示します。装置の高精度化・高速化、そして幅広い工程の自動化を実現するハイウィンのトータルソリューションをご提案いたします。 実働デモは、直交ロボットとスカラロボットのトレー段積み/段バラシ工程にAIビジョンシステムを組合せた「外観検査デモ」や、直交ロボットと電動グリッパーによるピック&プレース工程にメカ式ツールチェンジャーを組合せた「エアレス&多品種対応デモ」をご覧いただけます。 さらに、超薄型DDモーターを搭載した精密位置決めステージも展示します。 圧倒的な省スペース構造とシンプル設計により、メンテナンス工数を大幅に削減。DDモーターとリニアモーターを組み合わせたXYΘステージは、厚みも幅も非常にコンパクトで、部品点数削減による組立工数低減にも貢献します。

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【HIWIN】第40回 ネプコン ジャパン 出展

【2026年1/21(水)~1/23(金)】第40回 ネプコン ジャパン 出展のお知らせ

  • セミナー・イベント

ハイウィン株式会社は、東京ビッグサイトにて開催される 第40回 ネプコン ジャパン に出展いたします。 本展では、PLP工程に対応したナノ精度位置決めステージや、ウエハ検査に活用いただける多軸位置決めステージをご紹介いたします。また、当社主力製品のリニアガイドウェイは、半導体製造装置に最適な「ステンレス製リニアガイドウェイ」もご覧いただけます。

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【HIWIN】SEMICON Japan 2025 出展

【2025年12/17(水)~12/19(金)】「SEMICON Japan 2025」 出展のお知らせ

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ハイウィン株式会社は、東京ビッグサイトにて開催される「SEMICON Japan 2025」に出展いたします。 当社の出展製品は、PLP工程に対応したナノ精度位置決めステージをはじめ、ウエハロード・アンロードシステムや、業界最薄クラスのDDモーターなど、半導体製造装置向けのラインアップをご用意。 日本初出展となるウエハ搬送ロボット【Mシリーズ】とウエハ検査に活用いただける多軸ステージもご覧いただけます。

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 HIWIN(ハイウィン)は台湾、台中に本社(資本金約175億円、従業員約5,000名)を置き、日本以外にドイツ、アメリカなど、世界13か国に拠点を置くグローバル企業です。世界トップクラスの直動機器メーカーとして、多様化する顧客ニーズに対応するために製品開発に注力し、世界有数の工作機メーカー、自動車メーカー、半導体および製造装置メーカーへの納入実績を積み上げ、優良パートナー企業へと躍進しています。(ISO9001, ISO14001, ISO45001認証取得)  また、機械要素部品だけでなくメカトロ製品を幅広く開発製造し、単なる部品メーカーの範囲にとどまらないソリューションを幅広い産業に提供します。  1999年設立の日本法人、ハイウィン株式会社は本社を兵庫県神戸市に構え、日本全国10都市に営業拠点を配置。2022年、神戸市内約7500坪の敷地に研究開発機能を備えた本社工場を設立いたしました。  今後、当社は各領域において専門性を発揮し、価値ある製品の製造・開発を通じ、お客様に最適なソリューションの提供に向けて全力を尽くすことで、「次世代ものづくりを支える」企業として日本の産業発展に貢献します。

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