最大100L/minが移送可能なエアー駆動フッ素樹脂製大型ベローズポンプ
イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズは、高圧（0.6MPa以上）・大流量吐出が必要な薬液供給に最適な半導体プロセスポンプです。 【特長】 ●Max. 100L/minの大流量吐出。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【概略仕様】 ●最大吐出量：100L/min（清水20℃） ●使用液温度範囲：5〜60℃ ●供給エアー圧力範囲：0.2〜0.7 MPa ●最大エアー消費量：1495 NL/min ●主要材質：PTFE、PFA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せください。
価格情報
-
納期
用途／実績例
●半導体分野：薬液供給プロセス、他
カタログ（4）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
弊社は豊富な品揃えであらゆる要求スペックに対応する、ケミカルポンプの総合メーカーです。超微量注入、大流量移送、純水、高粘度液、スラリー混入液・・・ケミカルポンプの用途は多方面にわたり、要求される内容もそれぞれ異なります。たとえば 強酸・強アルカリを厳しい条件下で扱うケミカルプロセスでは、耐食性能はもちろん耐久性・安全性が強く求められます。半導体プロセスではコンタミネーション、パーティクルの溶出のないことが、また食品製造プロセスではサニタリー性が必須条件となります。近年ではポンプをベースとした、制御システムやユニット化のニーズも増えています。弊社はこれらに対し「多品種主義」で臨みます。永年の経験と実績に基づいた、きめ細かな品揃えでお客様の要求に的確にお応えいたします。流体の移送に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。
